[发明专利]一种晶圆覆膜装置

权利要求书

1.一种晶圆覆膜装置，其特征在于，包括操作基板、直行滑轨、第一切割刀具、夹持组件和覆膜组件；

所述直行滑轨与所述操作基板固定连接，并位于所述操作基板的表面，所述第一切割刀具位于所述操作基板靠近所述直行滑轨的一侧，所述夹持组件与所述直行滑轨滑动连接，并滑动方向朝向所述第一切割刀具的方向，且位于所述直行滑轨远离所述操作基板的一侧，所述覆膜组件与所述操作基板固定连接，并与所述直行滑轨抵接；

所述覆膜组件包括收纳架、牵引伸缩杆和切割构件，所述收纳架与所述操作基板固定连接，并位于所述直行滑轨的一侧，朝向所述直行滑轨的方向，所述牵引伸缩杆与所述操作基板固定连接，并与所述收纳架抵接，且位于所述直行滑轨远离所述收纳架的一侧，所述切割构件与所述操作基板固定连接，并与所述第一切割刀具转动连接，且位于所述收纳架和所述牵引伸缩杆之间；

所述切割构件包括环形滑轨、连接臂，所述环形滑轨与所述操作基板固定连接，并位于所述收纳架和所述牵引伸缩杆之间，所述连接臂与所述环形滑轨滑动连接，并与所述第一切割刀具固定连接，且位于所述环形滑轨靠近所述收纳架的一侧。

2.如权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述切割构件还包括旋转轴承，所述旋转轴承与所述连接臂固定连接，并与所述第一切割刀具转动连接，且位于所述连接臂和所述第一切割刀具之间。

3.如权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述覆膜组件还包括第一夹持块和第二夹持块，所述第一夹持块与所述牵引伸缩杆固定连接，并位于所述牵引伸缩杆靠近所述收纳架的一端；所述第二夹持块与所述收纳架固定连接，并位于所述收纳架靠近所述牵引伸缩杆的一侧，对覆膜进行夹持。

4.如权利要求3所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述覆膜组件还包括第二切割刀具，所述第二切割刀具与所述收纳架滑动连接，并位于所述收纳架靠近所述牵引伸缩杆的一侧，且靠近所述第二夹持块，对覆膜进行切割。

5.如权利要求4所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述覆膜组件还包括回收运输轨，所述回收运输轨与所述操作基板固定连接，并位于所述操作基板靠近所述收纳架的一侧，且朝向所述收纳架的方向。

6.如权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述夹持组件包括伸缩臂和伸缩弹簧，所述伸缩臂与所述直行滑轨滑动连接，并朝向靠近所述环形滑轨的方向，且位于所述直行滑轨远离所述操作基板的一侧；所述伸缩弹簧与所述伸缩臂抵接，并位于所述伸缩臂的内部。

7.如权利要求6所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述夹持组件还包括支撑杆，所述支撑杆与所述伸缩臂固定连接，并数量为两个，分别位于所述支撑杆的两侧，且分别与所述收纳架和所述牵引伸缩杆抵接。

8.如权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述晶圆覆膜装置还包括雾化喷头，所述雾化喷头与所述收纳架固定连接，并朝向所述收纳架和所述牵引伸缩杆之间，且位于所述收纳架靠近所述牵引伸缩杆的一侧。

9.如权利要求8所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述晶圆覆膜装置还包括吹风机，所述吹风机与所述环形滑轨固定连接，并位于所述环形滑轨的内部，且朝向所述牵引伸缩杆和所述收纳架之间。

10.如权利要求9所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，

所述晶圆覆膜装置还包括集水箱，所述集水箱与所述操作基板固定连接，并伸入所述操作基板的内部，且位于所述牵引伸缩杆和所述收纳架之间。