[发明专利]基于光程差指示的双折射干涉器装调装置及装调方法

权利要求书

1.一种基于光程差指示的双折射干涉器装调方法，待装调的所述双折射干涉器(5)包括沿光路依次设置的前置起偏器P₁、双折射剪切板SP、双折射补偿板CP以及检偏器P₂；该装调方法所基于的装调装置包括沿光路依次设置的激光光源(1)、扩束系统(2)、散射器(3)、标准起偏器(4)、成像物镜(6)以及探测器(7)；定义：标准起偏器(4)的反射光路方向为x轴正向，标准起偏器(4)的透射光路方向为z轴正向，x轴与z轴所确定平面的法线方向为y轴方向；所述标准起偏器(4)的透射光偏振方向平行于x轴；所述探测器(7)位于成像物镜(6)的后焦面处；其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：前置起偏器P₁装调

将前置起偏器P₁放置在标准起偏器(4)与成像物镜(6)之间；调节前置起偏器P₁，使其透振方向垂直于z轴，与x轴夹角为45°；

步骤2：检偏器P₂装调

将检偏器P₂放置在前置起偏器P₁与成像物镜(6)之间；调节检偏器P₂，使其透振方向与前置起偏器P₁的透振方向正交，此时探测器(7)达到消光状态；

步骤3：双折射剪切板SP粗调

将双折射剪切板SP放置在前置起偏器P₁与检偏器P₂之间；调节双折射剪切板SP，直至探测器(7)采集到的上下视场的干涉条纹对称分布，即完成双折射剪切板SP粗调；

步骤4：双折射剪切板SP精调

对步骤3中探测器(7)采集到的对称分布的上下视场干涉条纹进行相位解包分析，得到每一行的上下视场总光程差分布曲线，分析上下视场的总光程差分布情况，如果上下视场的总光程差不对称分布，返回上述步骤3，直至上下视场的总光程差对称分布，完成双折射剪切板SP精调；

步骤5：双折射补偿板CP装调

将双折射补偿板CP放置在双折射剪切板SP与检偏器P₂之间；调节双折射补偿板CP，对探测器(7)采集到的干涉图像进行相位解包分析，得到每一行的上下视场总光程差分布曲线，分析上下视场的总光程差分布情况，如果上下视场的总光程差不对称分布，迭代调节双折射补偿板CP，直至上下视场的总光程差对称分布，完成双折射补偿板CP的装调，双折射干涉器装调完成。

2.根据权利要求1所述的基于光程差指示的双折射干涉器装调方法，其特征在于：所述标准起偏器(4)为偏振方向已定标过的线偏振片或格兰泰勒棱镜。

3.根据权利要求2所述的基于光程差指示的双折射干涉器装调方法，其特征在于：步骤1所述调节前置起偏器P₁，使其透振方向垂直于z轴，与x轴夹角为45°的具体调节方法为：以z轴为旋转中心360°旋转前置起偏器P₁，记录探测器(7)光强信号最大值和最小值，根据光强值与前置起偏器P₁透振方向的对应关系进行调节。

4.根据权利要求3所述的基于光程差指示的双折射干涉器装调方法，其特征在于：步骤2所述调节检偏器P₂，使其透振方向与前置起偏器P₁的透振方向正交的具体调节方法为：以z轴为旋转中心旋转检偏器P₂。

5.根据权利要求4所述的基于光程差指示的双折射干涉器装调方法，其特征在于：步骤3所述调节双折射剪切板SP，直至探测器(7)采集到的上下视场的干涉条纹对称分布的具体调节方法为：以z轴为旋转中心旋转双折射剪切板SP，对探测器(7)采集到的干涉条纹进行分析，观察上下视场的干涉条纹分布情况，如果上下视场的干涉条纹不对称分布，迭代调节双折射剪切板SP，直至探测器(7)采集到的上下视场的干涉条纹对称分布。

6.根据权利要求5所述的基于光程差指示的双折射干涉器装调方法，其特征在于：步骤5中所述调节双折射补偿板CP的方法为以z轴为旋转中心旋转双折射补偿板CP。