[发明专利]双极晶体管

说明书

本发明提供了适合于减少基极电阻以及基极集电极间结电容并能够实现高频区域中的性能改善的双极晶体管。在基板上的基极台面上配置发射极台面以及基极电极。基极电极上的基极布线经过基极开口与基极电极连接。发射极台面包括具有在一个方向上较长的平面形状的多个发射极指。发射极指包括第一、第二发射极指，基极开口从第一发射极指的一个端部在长边方向上拉开间隔地配置，而未被配置于使第二发射极指在长边方向上延长的区域。第二发射极指的基极开口侧的端部比第一发射极指的基极开口侧的端部更向长边方向突出。

技术领域

本发明涉及双极晶体管。

背景技术

作为构成对移动终端等的通信信号进行放大的功率放大器的设备，广泛使用作为功率密度较大的晶体管的异质结双极晶体管(HBT)。各种参数例如基极集电极间结电容Cbc、基极电阻Rb对HBT的特性给予影响。由于若减少基极集电极间结电容Cbc，则能够改善HBT的增益，所以要求维持驱动能力，并减少基极集电极间结电容Cbc。

HBT的最大振荡频率f_max通过以下的式子近似。

【数1】

此处，f_t是截止频率，Rb是基极电阻。从式(1)可知，为了实现最大振荡频率f_max的提高，优选不仅减少基极集电极间结电容Cbc，还减少基极电阻Rb。

在下述的专利文献1中，作为减少基极电阻Rb以及基极集电极间结电容Cbc的结构，公开了将基极电极与基极层接触的基极接触区域设为鱼骨形状，并在俯视时与基极接触区域邻接并包围基极接触区域地配置发射极区域的HBT。

专利文献1：日本特表2007－520086号公报

在专利文献1所公开的HBT中，俯视时几乎从四周(上下左右)包围鱼骨形状的基极接触区域地配置发射极区域。发射极区域的边缘包括与基极接触区域邻接配置的内侧的边缘和除此以外的外侧的边缘。由于外侧的边缘的附近的发射极区域远离基极接触区域，所以在外侧的边缘的附近，基极电阻Rb变大。由于在基极接触区域的四周配置发射极区域的外侧的边缘，所以发射极区域中基极电阻Rb变大的区域的比例增大。结果减少基极电阻Rb的效果被削弱，没有充分改善式(1)所示的最大振荡频率f_max。

发明内容

本发明的目的在于提供适合于减少基极电阻以及基极集电极间结电容并能够改善高频区域中的性能的双极晶体管。

根据本发明的一个方面，提供了双极晶体管，其具有：台面形状的基极台面，被配置在基板上，包括成为集电极以及基极的半导体层；台面形状的发射极台面，被配置在所述基极台面上，在俯视时，划分出作为发射极进行动作的发射极区域；基极电极，被配置为在俯视时不与所述发射极台面重叠，并与所述基极欧姆连接；绝缘膜，覆盖所述基极电极，设置有在俯视时被配置在所述基极电极的内侧的至少一个基极开口；以及基极布线，被配置在所述绝缘膜上，经过所述基极开口与所述基极电极连接，所述发射极台面包括具有在一个方向上较长的平面形状的多个发射极指，所述发射极指以长边方向相互平行的姿势排列配置在与所述长边方向正交的宽度方向上，所述发射极指包括至少一个第一发射极指和至少一个第二发射极指，所述基极电极包括：第一基极电极部，被配置在所述第一发射极指与所述第二发射极指之间，沿所述长边方向较长；以及第二基极电极部，从所述第一发射极指的一个端部在所述长边方向上拉开间隔地配置，在俯视时，所述基极开口从所述第一发射极指的一个端部在所述长边方向上拉开间隔地配置，而未配置于使所述第二发射极指在所述长边方向上延长的区域，所述第二发射极指的所述基极开口侧的端部比所述第一发射极指的所述基极开口侧的端部更向所述长边方向突出。