[发明专利]利用准直光路调整芯片吸盘与基板吸盘平行度的方法

权利要求书

1.一种利用准直光路调整芯片吸盘与基板吸盘平行度的方法，其特征在于以下步骤：

红色LED点光源（23）发出的红色光线依次经过第一半透半反反射镜（24）透射、第一准直物镜（25）透射后，在靶标图像生成板（26）上形成有靶标图像红色光线，所形成的靶标图像红色光线依次经过第一反射镜（27）反射、第二半透半反反射镜（28）反射、第二反射镜（29）反射，并经第一滤光片（30）滤光后，照射到带反射镜面的芯片吸盘（14）的反射镜面上，经反射镜面反射后，依次通过第一滤光片（30）滤光、第二反射镜（29）反射、第二半透半反反射镜（28）透射、第三反射镜（31）反射、第四反射镜（32）反射和第二准直物镜（33）透射后在准直成像相机（34）中生成有靶标图像经带反射镜面的芯片吸盘（14）反射后的靶标生成图像A；

蓝色LED点光源（35）发出的蓝色光线依次经过第一半透半反反射镜（24）反射、第一准直物镜（25）透射后，在靶标图像生成板（26）上形成靶标图像蓝色光线，所形成的靶标图像蓝色光线依次经第一反射镜（27）反射、第二半透半反反射镜（28）透射、第五反射镜（36）反射、第六反射镜（37）反射，并经第二滤光片（38）滤光后，照射到带反射镜面的基板吸盘（2）的反射镜面上，经基板吸盘（2）的反射镜面反射后，依次通过第二滤光片（38）滤光、第六反射镜（37）反射、第五反射镜（36）反射、第二半透半反反射镜（28）反射、第三反射镜（31）反射、第四反射镜（32）反射和第二准直物镜（33）透射后，在准直成像相机（34）中生成靶标图像经带反射镜面的基板吸盘（2）反射后的靶标生成图像B；

靶标生成图像A与靶标生成图像B若不重合，调整俯仰偏摆调整平台（12），改变带反射镜面的芯片吸盘（14）的姿态，直至靶标图像经带反射镜面的芯片吸盘（14）反射后的靶标生成图像A与靶标图像经带反射镜面的基板吸盘（2）反射后的靶标生成图像B重合，完成芯片吸盘与基板吸盘平行度的调整操作。