[发明专利]处理等离子裂解有机氟的尾气中氮氧化物的方法及装置

权利要求书

1.一种处理等离子裂解有机氟的尾气中氮氧化物的方法，其特征在于，包括：

将等离子裂解有机氟的尾气经物理吸收后从吸收塔的下部导入，通过从吸收塔上部进入的尿素溶液的负压逆流循环喷淋实现尾气的复合吸收，最后将经复合吸收后的尾气经中和吸收后排放。

2.根据权利要求1所述的一种处理等离子裂解有机氟的尾气中氮氧化物的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将等离子裂解有机氟的尾气导入一级吸收塔，通过一级吸收液的循环喷淋进行物理吸收；

S2、将经物理吸收后的尾气从二级吸收塔的下部导入，通过从二级吸收塔上部进入的尿素溶液的逆流循环喷淋实现尾气的复合吸收，所述尿素溶液为10-40wt％的弱酸性尿素水溶液，所述二级吸收塔内的压力为-50～-360Pa；

S3、将经复合吸收后的尾气导入三级吸收塔，通过三级吸收液的中和吸收后排放。

3.根据权利要求2所述的处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的方法，其特征在于，步骤S1中，

所述一级吸收液为工业水；

和/或，所述一级吸收塔内的压力为-50～-360Pa；

和/或，所述一级吸收塔内的温度为40～50℃。

4.根据权利要求2或3所述的处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的方法，其特征在于，步骤S2中，

所述复合吸收的反应温度为5-40℃，优选为18-32℃；

和/或，所述尿素溶液为28-33wt％的尿素水溶液；

和/或，所述尿素溶液的喷淋流量为15-20m³/h；

和/或，所述二级吸收塔内的压力为-150～-200Pa。

5.根据权利要求2或3所述的处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的方法，其特征在于，步骤S3中，

所述三级吸收液为氨水、氢氧化钠溶液和碳酸钠溶液中的一种，优选为20-35wt％的氢氧化钠水溶液。

6.根据权利要求1-5任一项所述的处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的方法，其特征在于，步骤S2中，

检测负压逆流循环喷淋中尿素溶液的浓度，若低于10wt％，则通过补加尿素以提高其浓度。

7.根据权利要求2-6任一项所述的处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的方法，其特征在于，

步骤S1中，所述一级吸收塔内一级吸收液的酸性浓度大于20wt％时，则将其排出并重新补加一级吸收液；

和/或，步骤S3中，所述三级吸收塔内三级吸收液的碱性浓度小于5wt％时，则将其排出并重新补加三级吸收液。

8.一种处理等离子裂解有机氟的尾气中氮氧化物的装置，其特征在于，包括依次连接的一级吸收塔、二级吸收塔和三级吸收塔，所述等离子裂解有机氟的尾气通过管道与一级吸收塔的气体进口连接，所述二级吸收塔的气体进口和气体出口分别与所述一级吸收塔的气体出口和所述三级吸收塔的气体进口连接，所述三级吸收塔的气体出口与大气连通。

9.根据权利要求8所述的处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的装置，其特征在于，还包括负压风机，所述三级吸收塔的气体出口通过所述负压风机与大气连通。

10.根据权利要求8所述的处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的装置，其特征在于，所述一级吸收塔、所述二级吸收塔和所述三级吸收塔均为逆流喷淋吸收塔。