[发明专利]一种望远镜主镜检测与标定的对准系统及对准方法有效
申请号: | 201911143417.2 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN110702032B | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 王文攀;王建立;王志臣;李宏壮;李洪文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G02B7/182 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 徐丽 |
地址: | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 望远镜 检测 标定 对准 系统 方法 | ||
1.一种望远镜主镜检测与标定的对准系统,包括主镜(1)和计算全息元件(2),其特征在于,还包括:
用于配合所述计算全息元件(2)对所述主镜(1)进行面型检测的干涉仪(3);
用于配合所述计算全息元件(2)来获取所述主镜(1)的面型数据以便对所述主镜(1)进行面型标定的夏克-哈特曼标定装置(4);
用于使所述干涉仪(3)和所述夏克-哈特曼标定装置(4)切换工作的切换反射镜(5);
与所述切换反射镜(5)相连且用于驱动所述切换反射镜(5)切入或切出的第一切换驱动装置,当所述切换反射镜(5)从所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间切出时,所述干涉仪(3)对准所述计算全息元件(2)和所述主镜(1),以对所述主镜(1)进行面型检测;当所述切换反射镜(5)切入所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间时,所述切换反射镜(5)遮挡所述干涉仪(3),并使所述主镜(1)的焦点折转至所述夏克-哈特曼标定装置(4)中,使所述夏克-哈特曼标定装置(4)对准所述计算全息元件(2)和所述主镜(1),以便于对所述主镜(1)进行面型标定;
分别与所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)相连以调整两者的位姿的第一位姿调整装置,以使所述干涉仪(3)、所述计算全息元件(2)和所述主镜(1)三者对准;
用于在所述干涉仪(3)与所述主镜(1)对准后辅助所述夏克-哈特曼标定装置(4)对准所述主镜(1)的球面反射镜(6),当所述切换反射镜(5)切入所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间时,所述球面反射镜(6)位于所述计算全息元件(2)和所述切换反射镜(5)之间;
与所述球面反射镜(6)相连且用于调整所述球面反射镜(6)的位姿的第二位姿调整装置,以使所述球面反射镜(6)与所述干涉仪(3)对准;
与所述夏克-哈特曼标定装置(4)相连且用于调整所述夏克-哈特曼标定装置(4)的位姿的第三位姿调整装置,以使所述夏克-哈特曼标定装置(4)与所述球面反射镜(6)对准。
2.根据权利要求1所述的望远镜主镜检测与标定的对准系统,其特征在于,还包括与所述球面反射镜(6)相连且用于驱动所述球面反射镜(6)切入或切出所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间的第二切换驱动装置。
3.根据权利要求1所述的望远镜主镜检测与标定的对准系统,其特征在于,所述第一位姿调整装置包括两个相同的位姿调整模组,所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)分别与两个所述位姿调整模组一一对应相连。
4.根据权利要求3所述的望远镜主镜检测与标定的对准系统,其特征在于,两个所述位姿调整模组、所述第二位姿调整装置和所述第三位姿调整装置的结构相同。
5.根据权利要求3所述的望远镜主镜检测与标定的对准系统,其特征在于,两个所述位姿调整模组、所述第二位姿调整装置和所述第三位姿调整装置中的至少一者为五维调整台,所述五维调整台包括:
底板(71)、X向移动板和与所述X向移动板螺纹连接以驱动所述X向移动板沿X轴移动的X向推拉顶丝(721),所述底板(71)与所述X向移动板之间设有X向滑轨导向机构(722);
Y向移动板和与所述Y向移动板螺纹连接以驱动所述Y向移动板沿Y轴移动的Y向推拉顶丝(731),所述Y向移动板与所述X向移动板之间设有Y向滑轨导向机构(732);
Z向移动座(741)和与所述Y向移动板相连的转接板,所述Z向移动座(741)与所述Y向移动板之间设有Z向滑轨导向机构(742),所述转接板设有与之螺纹连接的Z向推拉顶丝(743),以推动所述Z向移动座(741)沿Z轴移动;
与所述Z向移动座(741)转动连接的Z向转动板(751)和与所述Z向移动座(741)相连且用于推动所述Z向转动板(751)绕Z轴转动的Z向转动推拉顶丝(752);
与所述Z向转动板(751)通过偏摆支点(761)相连的偏摆板(762)和与所述Z向转动板(751)相连且用于推动所述偏摆板(762)绕所述偏摆支点(761)摆动的偏摆推拉顶丝(763),所述偏摆板(762)与所述Z向转动板(751)之间设有拉簧(764)。
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