[发明专利]电感器、滤波器和多路复用器

权利要求书

1.一种电感器，包括：

基板；

第一布线，位于所述基板上；

第二布线，位于所述第一布线上方并通过气隙与所述第一布线间隔开，在平面图中所述第二布线的至少一部分与所述第一布线的至少一部分重叠；

第一支承柱，连接所述第一布线的端部和所述第二布线的端部，使得直流电通过所述第一支承柱在所述第一布线和所述第二布线之间传导；和

第二支承柱，设置成使得所述第二支承柱在平面图中与所述第二布线重叠，所述第二支承柱与所述第一布线绝缘，所述第二支承柱支承所述第二布线，并且其中，

所述第二支承柱在平面图中与所述第一布线重叠；或者，所述第二支承柱在平面图中不与所述第一布线重叠，并且所述第二支承柱位于设置到所述第一布线的开口中；或者，所述第二支承柱在平面图中不与所述第一布线重叠，并且所述第二支承柱位于设置到所述第一布线的缺口中。

2.根据权利要求1所述的电感器，其中

所述第一布线和所述第二布线具有围绕中心区域的线圈形状。

3.根据权利要求1所述的电感器，其中

所述开口的尺寸等于或小于所述第一布线的宽度的四分之三。

4.根据权利要求1所述的电感器，其中

所述第二支承柱包括位于所述基板上的第一金属层和位于所述第一金属层上的第二金属层，所述第一金属层由与形成所述第一布线的金属层的材料相同的材料制成，并具有与形成所述第一布线的金属层的厚度相同的厚度，所述第二金属层由与形成所述第一支承柱的金属层的材料相同的材料制成，并具有与形成所述第一支承柱的金属层的厚度相同的厚度。

5.根据权利要求1或2所述的电感器，其中

所述第二支承柱在平面图中与所述第一布线重叠，并且所述第二支承柱的至少一部分由绝缘材料制成。

6.根据权利要求1或2所述的电感器，还包括：

绝缘膜，位于所述第一布线与所述第二支承柱之间和/或所述第二布线与所述第二支承柱之间，其中

在平面图中，所述第二支承柱与所述第一布线重叠，并且

所述第二支承柱由金属制成。

7.根据权利要求1或2所述的电感器，其中

所述第二支承柱的至少一部分由金属制成。

8.一种滤波器，包括：

根据权利要求1或2所述的电感器。

9.一种多路复用器，其包括：

根据权利要求1或2所述的电感器。