[发明专利]用于镀膜室的屏蔽门

说明书

本发明提供了用于镀膜室的屏蔽门，所述屏蔽门用于镀膜生产线，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，所述箱体内设有空腔，所述屏蔽门包括箱体上设有门结构，多个箱体通过门结构的打开实现多个箱体内的空腔的连通，以供待镀膜的基片在所述连通的空腔内运行，通过门结构的关闭实现各个箱体的关闭和独立。本发明多个箱体上的门结构形成所述镀膜生产线的屏蔽，使多个箱体彼此独立或连通，且各个箱体内的真空度沿着待镀膜的基片的运行方向先增大再减小，使箱体壁两侧的压差均匀，降低了对箱体壁材料的要求，提高了所述镀膜生产线运行的可靠性。

技术领域

本发明涉及镀膜生产技术领域，具体为用于镀膜室的屏蔽门。

背景技术

真空镀膜是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。镀膜工艺在镀膜生产线上完成，镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，所述箱体内部具有容纳腔室，待镀膜的基片沿着所述镀膜生产线运行，并在所述腔室内完成相应工艺。进行镀膜工艺时，需要对相应腔室进行抽真空设置，而压力突降对箱体壁的强度要求较大，为了解决上述问题，不能仅对镀膜对应的腔室进行抽真空操作，而对与镀膜对应腔室相邻的多个腔室进行抽真空操作，沿着基片在镀膜生产线上的运行方向，真空度逐渐增大，至镀膜对应腔室达到最大，再逐渐减小。上述设计降低了对箱体壁的强度要求，然而，对各个箱体内的独立性提出更高的要求。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供用于镀膜室的屏蔽门，多个箱体上的门结构形成所述镀膜生产线的屏蔽，使多个箱体彼此独立或连通，且各个箱体内的真空度沿着待镀膜的基片的运行方向先增大再减小，使箱体壁两侧的压差均匀，降低了对箱体壁材料的要求，提高了所述镀膜生产线运行的可靠性。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

用于镀膜室的屏蔽门，所述屏蔽门用于镀膜生产线，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，所述箱体内设有空腔，所述屏蔽门包括箱体上设有门结构，多个箱体通过门结构的打开实现多个箱体内的空腔的连通，以供待镀膜的基片在所述连通的空腔内运行，通过门结构的关闭实现各个箱体的关闭和独立。

作为上述技术方案的进一步改进为：

每个箱体上设有两个分子泵，分子泵安装在腔体壁上，分子泵的抽取端位于箱体的空腔一侧内，另一端位于箱体的空腔外部，且两个分子泵通过连接管连通，连接管和其它各箱体上的连接管并联连接后再连接至真空主管上或真空泵组上。

门结构设置在箱体的空腔外部，包括两个驱动端、转动轴、多个连接体、阀本体和密封条。

转动轴的两端安装在腔体壁上，转动轴和腔体壁之间设有轴承，转动轴可转动的安装在腔体壁上，转动轴和腔体壁平行间隔设置。

转动轴的两端分别伸出箱体的上部和下部后各连接一驱动端，转动轴两端的两个驱动端和转动轴一体连接。

两个驱动端各连接一驱动电机，两个驱动端的两个驱动电机各连接并驱动一驱动端。

两个所述驱动电机电连接外部控制系统，控制系统集中控制各个箱体的门结构开启和关闭。

多个连接体沿着转动轴的长度方向均匀间隔连接在转动轴上，连接体和转动轴固定连接。阀本体和转动轴平行间隔布置，阀本体和多个连接体可拆卸连接。

转动轴通过多个连接体带动阀本体转动，阀本体以转动轴为中心轴旋转。

阀本体设有四个密封条，四个密封条连接形成矩形，阀本体需要堵住的开口位于四个密封条连接形成矩形内部。