[发明专利]一种光学反射镜及激光扫描共聚焦显微镜在审
申请号: | 201911128975.1 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN111722387A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 武震宇;汪洋;陈浩;程建功 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学 反射 激光 扫描 聚焦 显微镜 | ||
1.一种光学反射镜,其特征在于,包括:支架(101)、第一转动框(102)、第二转动框(103)和镜面(105),
所述支架(101)为框架结构,所述第一转动框(102)设在所述支架(101)内,所述第一转动框(102)与所述支架(101)转动连接,所述第一转动框(102)在所述支架(101)内转动具有第一转动轴线;
所述第二转动框(103)设在所述第一转动框(102)内,所述第二转动框(103)与所述第一转动框(102)转动连接,所述第二转动框(103)在所述第一转动框(102)内转动具有第二转动轴线;
所述第一转动轴线与所述第二转动轴线具有预设角度的夹角;
所述镜面(105)设在所述第二转动框(103)内。
2.根据权利要求1所述的光学反射镜,其特征在于,所述镜面(105)与所述第二转动框(103)转动连接,所述镜面(105)在所述第二转动框(103)内转动具有第三转动轴线,所述第三转动轴线与所述第二转动轴线共线。
3.根据权利要求2所述的光学反射镜,其特征在于,所述光学反射镜还包括加强框(104),所述加强框(104)与所述第二转动框(103)转动连接,所述镜面(105)设置在所述加强框(104)上。
4.根据权利要求3所述的光学反射镜,其特征在于,所述镜面(105)包括基体和光学反射层,所述光学反射层设在所述基体上。
5.根据权利要求1或4所述的光学反射镜,其特征在于,所述预设角度为90°。
6.根据权利要求5所述的光学反射镜,其特征在于,所述支架(101)和所述第一转动框(102)之间设有位置反馈结构;和/或,
所述第二转动框(103)与所述镜面(105)之间设有所述位置反馈结构。
7.根据权利要求6所述的光学反射镜,其特征在于,所述第一转动框(102)内设有第一驱动线圈;和/或,
所述第二转动框(103)内设有第二驱动线圈。
8.一种激光扫描共聚焦显微镜,其特征在于,包括:光源机构(3)、扫描机构(1)和探测机构,
所述扫描机构(1)分别与所述光源机构(3)和所述探测机构连接;
所述扫描机构(1)中设有权利要求1-7任一项所述的光学反射镜(10)。
9.根据权利要求8所述的激光扫描共聚焦显微镜,其特征在于,所述扫描机构(1)还包括第一透镜(20)和第二透镜(30),所述第一透镜(20)和所述第二透镜(30)的焦距相等,且所述第一透镜(20)与所述第二透镜(30)之间的距离为两倍焦距。
10.根据权利要求9所述的激光扫描共聚焦显微镜,其特征在于,所述探测机构包括探测器(201),所述探测器(201)为单光子探测器(201)。
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