[发明专利]运动控制系统在审

专利信息
申请号: 201911124168.2 申请日: 2019-11-15
公开(公告)号: CN112817181A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 黄文彬;郑致刚;张新君;王骁乾 申请(专利权)人: 苏州大学;华东理工大学
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337;G03F7/20
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 黄丽莉
地址: 215000*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 运动 控制系统
【权利要求书】:

1.一种运动控制系统,其特征在于,包括工作台、运动控制器、电机和电机驱动装置,所述运动控制器用于将采集的包括运动信息的光路数据转换成控制信号并发送给各执行部件;

所述运动控制器包括聚焦平面运动控制单元和工作台运动控制单元;

所述聚焦平面运动控制单元,用于控制成像物镜组作竖直方向的上下移动,通过成像检测部件聚焦并将聚焦平面始终保持在光偏振敏感材料表面;

所述工作台运动控制单元,用于控制载带有光偏振敏感材料的工作台在二维平面运动,以实现偏振光场拼接或者不同偏振光场之间的互联;

所述电机驱动装置用于驱动电机带动所述聚焦平面和工作台运动。

2.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,所述成像物镜组的光路的主轴方向垂直于所述工作台,所述电机驱动所述成像物镜组作竖直方向的上下移动,在所述工作台上形成所述聚焦平面。

3.根据权利要求2所述的运动控制系统,其特征在于,所述工作台设置于所述成像物镜组下方且具有二维运动轨道,用于承载光偏振敏感材料且在所述运动控制部件驱动下带动光偏振敏感材料在二维平面运动,使光偏振敏感材料的表面始终保持在所述成像物镜组的聚焦平面。

4.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,还包括检测装置,所述检测装置用于实时监测电机的运动,并将电机的运动位置及速度发送给运动控制器。

5.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,所述运动控制器,用于接收采集的所述工作台的二维物理坐标信号且向偏振图案生成部件发送曝光的开关指令。

6.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,所述工作台设置有扫描轴,所述扫描轴包括位置采集器;所述运动控制器设置有与所述位置采集器相配合的位置反馈模块,所述位置反馈模块用于实时检测所述扫描轴的移动位置。

7.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,所述运动控制系统还包括检测装置,用于实时监测所述电机的运动状态信息,并将所述电机的运动位置及速度发送给运动控制器;

所述工作台载带所述光偏振敏感材料在二维平面运动,以进一步实现偏振光场拼接或者不同偏振光场之间的互联。

8.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,所述成像检测部件包括依次连接的第一分光片、筒镜、成像物镜组、偏振片、第一透镜、第一成像CCD;所述成像物镜组的前焦面位于所述筒镜的后焦面的附近;所述第一成像CCD的成像面位于所述第一透镜的前焦面;所述第一透镜的后焦面位于所述筒镜的前焦面;所述成像检测组件用于对生成的液晶光取向图案的成像进行检测。

9.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,所述成像检测组件与微缩成像部件相连,用于对偏振图案生成部件输出的偏振图案进行微缩,并写入到光偏振敏感材料中;

所述偏振图案生成部件包括位相调制器,用于输出像素化可编程偏振图案;或可电动调节偏振片,通过控制旋转电机将可电动调节偏振片旋转到对应的偏振角,生成具有固定偏振角的偏振光。

10.根据权利要求1所述的运动控制系统,其特征在于,所述运动控制系统与焦距伺服系统相连,所述焦距伺服系统用于矫正运动产生的离焦现象;

所述焦距伺服系统包括依次连接的检测光源、第二透镜、第二分光片、成像物镜组、第二成像CCD、电机;

所述检测光源位于所述第二透镜的前焦面;所述第二分光片位于所述第二透镜的后焦面;所述第二成像CCD的成像面位于所述第二透镜的前焦面;所述电机驱动所述成像物镜组;

所述第一成像CCD接收投射到光偏振敏感材料面的反射像,第一成像CCD与所述成像物镜组成共轭像。

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