[发明专利]一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，根据硅芯生长不同阶段所需恒流维持电压的不同，将所述维持电压分档设置，每档设置对应的接地电流的预警值和动作值，所述预警值小于所述动作值；当所述维持电压对应的接地电流达到所述预警值时，进行预警，操作者根据预警调整工艺参数以避免或延迟接地电流达到动作值；当所述维持电压对应的接地电流达到所述动作值时，停止多晶硅还原炉电源系统的运行。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，当所述维持电压对应的接地电流达到所述动作值，且超过设定的延长时间后，再停止多晶硅还原炉电源系统的运行。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，硅芯接地回路中设置有高压开关电器，所述高压开关电器在多晶硅还原炉电源系统正常运行时闭合，检修时断开。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，所述高压开关电器包括隔离刀闸。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，所述维持电压取整设置为5档，分别为520～999V、1000～1499V、1500～1999V、2000～2499V、2500～2650V。

6.根据权利要求5所述的一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，所述5档维持电压对应的接地电流的动作值依次为：601mA、1157mA、1500mA、2314mA、2893mA。

7.根据权利要求5所述的一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，硅芯接地回路中设置有用于检测接地电流的可调电阻，当维持电压在1000V及以上时，所述可调电阻的阻值固定不变；当维持电压在520～999V时，所述可调电阻的阻值降低。