[发明专利]一种靶材加工用装夹装置

说明书

本发明属于靶材加工技术领域，尤其为一种靶材加工用装夹装置，包括安装箱，所述安装箱内固定安装有电机，所述电机的输出轴上固定套设有第一锥形齿轮，所述安装箱内设有两个螺杆，两个螺杆相互靠近的一端均固定安装第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮与两个第二锥形齿轮相啮合，两个螺杆上均螺纹套设有螺母，所述螺母的顶部铰接有铰接杆，所述铰接杆远离所述螺母的一端转动安装有转动杆，所述安装箱的顶部设有两个弧形块，所述转动杆的顶端固定安装在所述弧形块的底部，两个弧形块相靠近的一侧均固定安装有橡胶垫。本发明结构牢靠，操作简单，避免了人工直接对靶材进行装夹，一定程度上减少了装夹对靶材的造成的损伤。

技术领域

本发明涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种靶材加工用装夹装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。为得到不同膜系，如超硬、耐磨、防腐的合金膜等，需要更换不同材料的靶材，如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等。

靶材需要通过机械加工，达到合适的尺寸、形状和精度，但是，现有技术中，靶材在加工的过程中装夹工作多为人工手动装夹，装夹精度差，可能造成多次装夹，从而使靶材在装夹的过程中可能会受到损伤，为此，提出一种靶材加工用装夹装置。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种靶材加工用装夹装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种靶材加工用装夹装置，包括安装箱，所述安装箱内固定安装有电机，所述电机的输出轴上固定套设有第一锥形齿轮，所述安装箱内设有两个螺杆，两个螺杆相互靠近的一端均固定安装第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮与两个第二锥形齿轮相啮合，两个螺杆上均螺纹套设有螺母，所述螺母的顶部铰接有铰接杆，所述铰接杆远离所述螺母的一端转动安装有转动杆，所述安装箱的顶部设有两个弧形块，所述转动杆的顶端固定安装在所述弧形块的底部，两个弧形块相靠近的一侧均固定安装有橡胶垫，所述橡胶垫与靶材相接触，两个弧形块的两端均焊接有限位板，两个相对应的限位板贯穿有两个限位杆，所述限位杆与所述限位板滑动连接。

优选的，两个螺杆上均转动安装有两个固定板，所述固定板与所述安装箱的顶部内壁和底部内壁固定连接。

优选的，所述安装箱的顶部内壁上开设有四个矩形通孔，四个矩形通孔呈环形阵列分布。

优选的，所述转动杆贯穿所述矩形通孔，所述转动杆与所述矩形通孔滑动连接。

优选的，所述安装箱的顶部固定安装有垫板，所述垫板为软性橡胶材料。

优选的，所述安装箱的顶部焊接有四个支撑杆，支撑杆与相应的限位杆固定连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：首先，该装置通过电机、第一锥形齿轮、螺杆、第二锥形齿轮、螺母、铰接杆、转动杆、弧形块、橡胶垫和限位杆的相配合，启动电机，电机的输出轴带动第一锥形齿轮转动，第一锥形齿轮带动两个第二锥形齿轮转动，第二锥形齿轮带动螺杆转动，螺杆带动螺母移动，螺母带动铰接杆移动，铰接杆带动转动杆移动，转动杆带动弧形块移动，弧形块带动橡胶垫移动，两个橡胶垫将靶材夹住且橡胶垫为橡胶结构不会对靶材造成损伤，限位杆限制了弧形块移动式不会偏离指定方向。

本发明结构牢靠，操作简单，避免了人工直接对靶材进行装夹，一定程度上减少了装夹对靶材的造成的损伤。

附图说明

图1为本发明的正视剖视结构示意图；

图2为本发明的俯视结构示意图；

图3为本发明的俯视剖视结构示意图。

图中：1、安装箱；2、电机；3、第一锥形齿轮；4、固定板；5、螺杆；6、第二锥形齿轮；7、螺母；8、铰接杆；9转动杆；10、弧形块；11、橡胶垫；12、限位板；13、限位杆；14、垫板；15、矩形通孔。

具体实施方式