[发明专利]一种显示面板及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 201911113335.3 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN110808272B | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 邸云萍 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;G06K9/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 张佳 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 及其 制备 方法 显示装置 | ||
本发明涉及显示技术领域,公开一种显示面板及其制备方法、显示装置。其中,显示面板包括衬底基板、以及依次位于所述衬底基板上的薄膜晶体管阵列和光敏二极管阵列,还包括位于所述薄膜晶体管阵列和所述光敏二极管阵列之间、且从所述薄膜晶体管阵列至所述光敏二极管阵列方向依次设置的第一钝化层、第一平坦化层和第二钝化层;所述第一钝化层、第一平坦化层和第二钝化层上设有过孔,所述光敏二极管阵列通过所述过孔与所述薄膜晶体管阵列电连接。上述显示面板,集成有光敏二极管阵列结构层,可以实现显示区的指纹感应和识别功能,并且光敏二极管结构的暗态电流较低,指纹成像的对比度较高,成像较清晰。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种显示面板及其制备方法、显示装置。
背景技术
当前实现光学指纹识别传感器与显示屏集成,主要是通过将单独的光学指纹识别传感器与显示屏贴合而成。而在OLED显示屏内集成光学指纹识别传感器(In Cell集成形式)尚处于技术开发阶段。具体的,以In Cell形式在OLED显示屏内集成光学指纹识别传感器,具体原理是在基底上采用同一制备过程形成发光结构层和指纹识别结构层,以将指纹识别结构层有机地集成到显示基板中,即实现将指纹识别功能结构嵌入在OLED显示屏中,从而实现在显示区上的指纹识别功能。目前,以In Cell形式集成光学指纹识别传感器存在的主要问题是获得的指纹成像不够清晰,很难实现应用要求。
发明内容
本发明公开了一种显示面板及其制备方法、显示装置,目的是提供一种嵌入指纹识别功能的OLED显示面板,改善嵌入式指纹识别功能的指纹成像不够清晰的问题。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种显示面板,包括衬底基板、以及依次位于所述衬底基板上的薄膜晶体管阵列和光敏二极管阵列,还包括位于所述薄膜晶体管阵列和所述光敏二极管阵列之间、且从所述薄膜晶体管阵列至所述光敏二极管阵列方向依次设置的第一钝化层、第一平坦化层和第二钝化层;所述第一钝化层、第一平坦化层和第二钝化层上设有过孔,所述光敏二极管阵列通过所述过孔与所述薄膜晶体管阵列电连接。
上述显示面板中,将光敏二极管阵列结构层有机地集成到显示背板中,并与薄膜晶体管阵列结构层电连接,可以实现显示区的指纹感应和识别功能。具体的,在光敏二极管阵列结构层与薄膜晶体管阵列结构层之间,依次设置有第一钝化层、第一平坦化层和第二钝化层;其中,第一钝化层可以有效保护薄膜晶体管阵列结构层的金属走线,阻隔水汽,避免金属走线受水氧腐蚀;第一平坦化层可以将金属走线引起的凹凸不平覆盖,使得光敏二极管阵列结构层的下方形成平坦的表面,从而使得光敏二极管的各膜层结构平整,光敏膜层的良率高,膜层应力分布均匀,电场分布均匀,受到的光照均匀,从而可以解决由于膜层结构不平整导致的光敏二极管暗态电流升高的问题,有效降低光敏二极管的暗态电流;第二钝化层主要作为刻蚀阻挡层,可以避免对光敏二极管进行图形化刻蚀的过程对下方的第一平坦化层造成损害,从而保证第一平坦化层和光敏二极管的膜层结构的平整性。综上所述,上述显示面板,集成有光敏二极管阵列结构层,可以实现显示区的指纹感应和识别功能,并且光敏二极管结构的暗态电流较低,指纹成像的对比度较高,成像较清晰。
可选的,所述第一平坦化层为热固化型树脂材料。
可选的,所述显示面板还包括:
发光结构,位于所述光敏二极管阵列背离所述衬底基板的一侧,包括发光单元以及设置在所述发光单元之间的像素界定结构;
第二平坦化层,位于所述光敏二极管阵列和所述发光结构之间;所述第二平坦化层为热固化型树脂材料。
可选的,所述发光结构在所述衬底基板上的投影与所述光敏二极管阵列在所述衬底基板上的投影没有重叠;
所述显示面板还包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的