[发明专利]适用7.5-12μm波段的高效金反射膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201911106006.6 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110850519B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李刚;杨伟声;张友良;田湫;董力;吴栋才 | 申请（专利权）人： | 云南北方光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C03C17/36 |
| 代理公司： | 昆明盛鼎宏图知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53203 | 代理人： | 许竞雄 |
| 地址： | 655000 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适用 7.5 12 波段 高效 反射 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.适用7.5-12μm波段的高效金反射膜，包括从下至上的微晶玻璃基底层和空气层，其特征在于，还包括设置于微晶玻璃基底层和空气层之间的膜层结构，所述膜层结构为从下至上依次连接的Cr层、Au层、Y2O3层、ZnSe层、YbF3层、Ge层、ZnSe层、Ge层、ZnSe层。
2.适用7.5-12μm波段的高效金反射膜的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1，在微晶玻璃基底层表面依次镀制Cr层和Au层；
步骤S2，采用考夫曼离子源辅助沉积方式，镀制剩余的Y2O3层、ZnSe层、YbF3层、Ge层、ZnSe层、Ge层、ZnSe层。
3.根据权利要求2所述的适用7.5-12μm波段的高效金反射膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，镀制温度控制在90-110℃。
4.根据权利要求2所述的适用7.5-12μm波段的高效金反射膜的制备方法，其特征在于，步骤S2中，镀制温度控制在150-170℃。
5.根据权利要求2所述的适用7.5-12μm波段的高效金反射膜的制备方法，其特征在于，步骤S2中，考夫曼离子源辅助沉积方式中的控制参数为：充入气体为氩气，气体流量2.8-3.2sccm，阳极电压70-80V，阴极电压9-10V，阴极电流保持在10-14A。
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