[发明专利]一种图案化的方法、玻璃基板的制造方法及显示面板有效
申请号: | 201911105472.2 | 申请日: | 2019-11-13 |
公开(公告)号: | CN110908245B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 邵源;闫春秋;陈孝贤 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;G03F7/20 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 图案 方法 玻璃 制造 显示 面板 | ||
本申请实施例提供一种图案化的方法、玻璃基板的制造方法及显示面板。本申请提供一种图案化的方法,包括步骤:将聚邻苯二甲酰胺和丙二醇甲醚醋酸酯中一种或两种与有机聚合物形成光阻剂;将所述光阻剂涂布在金属层上,使得光阻剂形成光阻层;使用温度集中的探头在所述光阻层上形成图案。本申请实施例可以减少黄光制程工序,避免光阻层蚀刻不均的问题。
技术领域
本申请涉及面板制造技术领域,特别涉及一种图案化的方法、玻璃基板的制造方法及显示面板。
背景技术
随着电子跟显示技术的不断发展。LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)等显示技术的日渐成熟,显示面板中的线路精细化要求逐渐升高。黄光工艺因其精度高,制程稳定等特点逐步得到研究、生产团队的青睐。同时成为一种应用最广泛的图形化技术。
相关技术中,黄光在图案化过程中使用到的光阻层需要经过曝光、显影等复杂的工艺。不仅工艺复杂,而且光阻层会因基底材料的不同存在蚀刻不均等一些不可避免的问题。
发明内容
本申请实施例提供一种图案化的方法、玻璃基板的制造方法及显示面板。可以减少黄光制程的工序,避免光阻层蚀刻不均的问题。
本申请实施例第一方面提供一种图案化的方法,包括步骤:
将聚邻苯二甲酰胺和丙二醇甲醚醋酸酯中一种或两种与有机聚合物形成光阻剂;
将所述光阻剂涂布在金属层上,使得光阻剂形成光阻层;
使用温度集中的探头在所述光阻层上形成图案。
在一些实施例中,所述聚邻苯二甲酰胺和丙二醇甲醚醋酸酯固定含量在百分之十五至百分之二十之间。
在一些实施例中,所述聚邻苯二甲酰胺和丙二醇甲醚醋酸酯中一种或两种与有机聚合物的配制粘度在二厘泊·秒至十厘泊·秒之间。
在一些实施例中,所述光阻剂涂布在所述金属层的厚度为一百纳米至一百微米之间。
在一些实施例中,所述将所述光阻剂涂布在金属层上之后还包括:将所述光阻剂烘干以使得所述光阻剂形成光阻层。
在一些实施例中,所述使用温度集中的探头在所述光阻层上形成图案包括:利用自动化设备通过温度集中的探头在光阻层上形成预设的图案。
在一些实施例中,所述温度集中的探头的的温度在二百六十摄氏度至八百摄氏度之间。
本申请实施例第二面还提供一种玻璃基板的制造方法,包括:
提供一玻璃衬底,所述玻璃衬底包括相对设置的第一面以及第二面;
在所述第一面设置金属层;
将聚邻苯二甲酰胺和丙二醇甲醚醋酸酯中一种或两种与有机聚合物形成光阻剂;
将所述光阻剂涂布在金属层上,使得光阻剂形成光阻层;
使用温度集中的探头在所述光阻层上形成图案。
本申请实施例第三面还提供一种显示面板,包括玻璃基板,所述玻璃基板采用上述所述的图案化的方法制程
本申请实施例中,利用聚邻苯二甲酰胺和丙二醇甲醚醋酸酯中一种或两种与有机聚合物形成的光阻剂具有良好的光或热敏感性,将光阻剂涂布在金属层上,使得光阻剂形成光阻层,通过温度集中的探头在光阻层上形成图案可以减少黄光制程工序中曝光和显影的工序,从而使得显示面板中图案化工序更加简单,使得光阻层不容易出现蚀刻不均的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
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