[发明专利]一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源

说明书

本发明公开了一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，包括平板、支撑脚、加固条、保护箱、铰链、箱门、透明玻璃窗、搭扣锁、电动推杆、固定罩、保温箱、金属保护层、石棉保温层、出气孔、进气管、阀门、MOCVD加热器、反应箱体、箱盖、空腔矩形板、出气孔、基片载板、连接杆、直管、金属导热箱、导热连接条、第一隔板、第二隔板、连接管、鹅颈管、软管和插管。本发明结构合理，可为进入的气体进行快速预热，预热时，通过气流路径延长结构增加了气体在金属导热箱中的流动路径，增加了气体的停留时间，提高了气体的温度，从而提高了反应效率，气体进入反应箱体中，减少热量的吸收，避免影响反应效率。

技术领域

本发明涉及一种MOCVD加热器源，具体是一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，属于MOCVD加热器源应用技术领域。

背景技术

MOCVD设备是MOCVD技术的核心，MOCVD设备主要包括气路系统、加热系统、反应室和检测及控制系统等几个部分；其中MOCVD加热器是加热系统中最主要的部分。

现有的MOCVD加热器为反应提供加热温度，同时需要在反应室内通入气体，反应气体一般温度较低，会吸收反应条件下的热量，从而降低反应效率，延长反应时间。因此，针对上述问题提出一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的，一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，包括支撑架、保护箱以及保温箱，所述保护箱和保温箱均固定安装在支撑架的顶部，所述保护箱上安装有升降盖板，所述支撑架的顶部固定嵌合安装有MOCVD加热器，所述保护箱底部设置有反应箱体，且反应箱体与支撑架固接，所述MOCVD加热器贯穿反应箱体底部，所述升降盖板位于反应箱体顶部，所述升降盖板的底部安装有空腔矩形板，所述空腔矩形板的底部设置有若干个出气孔，所述空腔矩形板底部通过连接杆连接有基片载板；

所述保温箱的内部设置有金属导热箱，且金属导热箱与保温箱之间形成保温腔，所述保温腔的内部均匀设置有若干个导热连接条，且导热连接条的两端分别与金属导热箱以及保温箱固接，所述保温箱的顶部开有排气孔；

所述金属导热箱的一侧顶部固定连通有若干个插管，所述插管贯穿保温箱，且插管末端通过连接管与空腔矩形板顶部连通；

所述反应箱体的一侧通过直管与保温腔的一侧连通，所述金属导热箱底部固定连通有进气管，且进气管贯穿保温箱底部以及支撑架顶部，所述进气管的底端安装有阀门，所述金属导热箱内部从下到上设置有气流路径延长结构。

优选的，所述支撑架包括平板，所述平板的底部四角处均垂直固接有支撑脚，且支撑脚之间通过加固条固接。

优选的，所述保护箱的正面开口处设置有箱门，所述箱门的一侧通过铰链与保护箱铰接，所述箱门的另一侧通过搭扣锁与保护箱连接，所述箱门的表面固定嵌合安装有透明玻璃窗。

优选的，所述MOCVD加热器的底部套接有固定罩，且固定罩与平板底部固接。

优选的，所述升降盖板包括电动推杆以及箱盖，所述电动推杆的壳体与保护箱顶部垂直固接，且电动推杆的输出底端与箱盖顶部固接。

优选的，所述保温箱由金属保护层以及石棉保温层构成，所述金属保护层的数目为两个，且两个金属保护层分别固定安装在石棉保温层的内侧和外侧。

优选的，所述连接管由鹅颈管和软管套接而成，所述软管设置在鹅颈管的内部。

优选的，所述金属导热箱和保温箱均与插管的外管壁无缝焊接。

优选的，所述排气孔的数目为四个，且四个排气孔呈矩形阵列分布。