[发明专利]一种真空设备的角度调节装置

权利要求书

1.一种真空设备的角度调节装置，其特征在于，所述装置包括：

底板法兰；

固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；

联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；

支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；

支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端，且在所述支撑法兰内连接一轴承；

丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置所述丝杆；

滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；

手轮，所述手轮设置在所述支撑法兰上，且所述手轮穿过所述轴承与所述丝杆的一端连接，其中，所述手轮转动带动所述丝杆旋转，且所述丝杆旋转带动所述滑块上下运动；

波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；

连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述滑块上下运动带动所述丝杆法兰运动，且所述丝杆法兰运动带动所述波纹管伸缩。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述波纹管伸缩带动所述连杆连接的所述样品台以所述联轴器的转轴为中心旋转。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述丝杠的运动长度大于所述波纹管的伸缩长度。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述丝杠与所述波纹管具有同一中心轴，且所述丝杠与所述固定杆平行设置。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板法兰的下表面采用光滑面。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述波纹管采用焊接波纹管。