[发明专利]电感耦合等离子体系统

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感耦合等离子体系统包括:壳体，所述壳体内形成腔室，其中所述壳体接地；

下部电极，置于所述腔室内，所述下部电极用于承载工作件；

射频源及匹配器，所述匹配器的一端通过所述壳体的接口连接至所述下部电极，所述匹配器的另一端连接至所述射频源，其中所述射频源用于向所述下部电极提供偏压射频功率，所述匹配器用于进行阻抗匹配，所述匹配器包括外壳及第一电容，所述外壳接地，所述第一电容的第一端连接至所述外壳，所述第一电容的第二端连接至所述射频源；及

电流回流装置，所述电流回流装置的一端连接至所述壳体，另一端连接至所述第一电容的所述第一端，所述电流回流装置用于提供电流路径来使得电流自所述壳体经所述电流回流装置、所述匹配器的所述外壳到所述射频源。

2.如权利要求1所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电流回流装置包括串联连接的电感与第二电容，其中所述电感和所述第二电容的至少其中之一者的阻抗为可变，且所述电感的等效阻抗等于所述第二电容的等效阻抗，以使所述电流回流装置形成串联谐振。

3.如权利要求2所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感的电感值及所述第二电容的电容值满足下列式子:

其中f₀为所述射频功率的频率，L为所述电感的所述电感值，C为所述第二电容的所述电容值。

4.如权利要求2所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感的一端连接至所述接口的外缘，所述电感的另一端连接至所述第二电容的一端，所述第二电容的另一端连接至所述第一电容的所述第一端。

5.如权利要求4所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感与所述第二电容位于所述外壳的外部，所述第二电容与所述第一电容之间的连接线通过绝缘件穿过所述外壳。

6.如权利要求4所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感位于所述外壳的外部，所述第二电容位于所述外壳的内部；所述电感与所述第二电容之间的连接线通过绝缘件穿过所述外壳。

7.如权利要求4所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感与所述第二电容位于所述外壳的内部，所述电感与所述接口的所述外缘之间的连接线通过绝缘件穿过所述外壳。

8.如权利要求2所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述第二电容的一端连接至所述接口的外缘，所述第二电容的另一端连接至所述电感的一端，所述电感的另一端连接至所述第一电容的所述第一端。

9.如权利要求8所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感与所述第二电容位于所述外壳的外部，所述电感与所述第一电容之间的连接线通过绝缘件穿过所述外壳。

10.如权利要求8所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述第二电容位于所述外壳的外部，所述电感位于所述外壳的内部；所述第二电容与所述电感之间的连接线通过绝缘件穿过所述外壳。

11.如权利要求8所述的电感耦合等离子体系统，其特征在于，所述电感与所述第二电容位于所述外壳的内部，所述第二电容与所述接口的所述外缘之间的连接线通过绝缘件穿过所述外壳。