[发明专利]一种降低PERC太阳能电池电致衰减的扩散工艺在审
申请号: | 201911098222.0 | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN110931597A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 王利彦;林纲正;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 金丽英 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 降低 perc 太阳能电池 衰减 扩散 工艺 | ||
1.一种降低PERC太阳能电池电致衰减的扩散工艺,其特征在于:包括以下步骤;
步骤一,进舟,将制绒后的P-PERC太阳能电池片放入石英舟,通过自动装舟设备移入扩散管内;
步骤二,升温通前氧,将扩散管内温度升温至730~790摄氏度,通入流量为3000~5000标准毫升每分钟的氮气、流量为500~700 标准毫升每分钟的氧气,工艺时间为730~800秒;
步骤三,沉积,保持温度在730~790摄氏度,通入流量为300~400标准毫升每分钟的氮气、流量为450~550标准毫升每分钟的氧气、流量为150~250标准毫升每分钟的三氯氧磷,工艺时间为450~510 秒;
步骤四,推进,继续升温至820~880摄氏度,通入流量为1900~2100标准毫升每分钟的氮气、流量为900~1000标准毫升每分钟的氧气,工艺时间为500~700秒;
步骤五,降温通后氧,将温度降温至730~790摄氏度,流量为2900~3100标准毫升每分钟的氮气、流量为900~1000标准毫升每分钟的氧气,工艺时间为700~800秒;
步骤六,低温修复,将温度控制在650~710摄氏度,通入流量为3000~4000标准毫升每分钟的氮气,工艺时间为500~700秒。
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