[发明专利]一种电子级三氯化硼的制备方法

权利要求书

1.一种电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，包括步骤：

氯气和氢气从底部充入光催化反应器(R102)，光催化反应器(R102)中，沸腾床反应器(R101)反应产物中的光气在紫外光照下分解成一氧化碳和氯气，氯气和氢气在紫外光照下反应生成氯化氢并自光催化反应器(R102)顶部采出；

上述的氯化氢经换热、汽化处理后与硼粉在沸腾床反应器(R101)中反应生成三氯化硼和氢气，反应产物从沸腾床反应器R101顶部采出进入脱轻塔再沸器(E102)换热后进入光催化反应器(R102)；

光催化反应器(R102)底部采出三氯化硼粗品进入脱轻塔(T101)，脱轻塔(T101)塔顶采出气相进入脱重塔再沸器(E104)换热后进入分凝器(E103)冷凝冷却后液相回流脱轻塔(T101)，气相作为轻组分采出；

脱轻塔(T101)塔釜物料进入脱重塔(T102)，脱重塔(T102)塔顶采出气相经脱重塔冷凝器E105冷凝后部分回流，部分作为三氯化硼产品采出。

2.根据权利要求1所述电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，光催化反应器(R102)顶部采出的氯化氢进入到HCl冷阱(E101)换热，HCl冷阱(E101)顶部采出未冷凝的轻杂质，下部采出氯化氢进入汽化器(F101)，汽化器(F101)顶部采出气相氯化氢，经压缩机压(C101)缩后送入到沸腾床反应器(R101)底部。

3.根据权利要求1所述电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，所述的硼粉的纯度≥99.9％，氯气和氢气纯度≥99.999％。

4.根据权利要求1所述电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，所述的硼粉和氯气的摩尔比为1:1.5-1:3。

5.根据权利要求1所述电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，所述沸腾床反应器温度300-800℃，压力1-5MPa。

6.根据权利要求1所述电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，所述光催化反应器温度30-60℃，压力0.4-1MPa。

7.根据权利要求1所述电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，所述脱轻塔操作压力0.4-1MPa，脱重塔操作压力0.25-0.5MPa。

8.根据权利要求1所述电子级三氯化硼的制备方法，其特征在于，所述脱轻塔(T101)塔顶温度与脱重塔(T102)塔釜温度温差≥12℃。