[发明专利]用于切割衬底的台和衬底切割装置

说明书

本申请涉及用于切割衬底的台以及衬底切割装置。该台包括支承构件和第一管线，其中：支承构件用于将衬底安装在其上，包括多个单元区域，并且限定位于多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线；第一管线插入到凹槽线中以接触凹槽线的内壁，并且具有敞开的上部部分。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年11月16日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0141884号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用并入本文中。

技术领域

本公开总体涉及用于切割衬底的台以及衬底切割装置。

背景技术

随着信息时代的到来，用于在视觉上显示电信息信号的显示领域得到快速发展。因此，已经迅速开发并使用了各种显示设备。这类显示设备的示例包括液晶显示设备(LCD)、场发射显示设备(FED)、电泳显示设备(EPD)、电润湿显示设备(EWD)、有机发光显示设备(OLED)、量子点显示设备(QD)等。

显示设备包括显示面板，显示元件和驱动元件位于显示面板中。在显示设备的制造过程期间，可以在单个母衬底上形成多个显示面板。另外，母衬底可以安装在衬底切割装置的台上，并且可以通过激光切割成多个单元。

发明内容

本文中公开的实施方式提供了用于切割衬底的台，并且还提供了衬底切割装置，其中，台包括具有与台的凹槽线对应的形状的第一管线，第一管线插入并安装在凹槽线中，并且第一管线被可拆卸地设置，使得可以有效去除形成在台处的异物。

本文中公开的实施方式还提供了用于切割衬底的台，并且还提供了衬底切割装置，其中，台包括第一管线，该第一管线与台的凹槽线的内壁接触以与凹槽线对应，并且第一管线被可拆卸地设置，使得可以减少去除在台处形成的异物所需的时间。

根据本公开的方面，提供了用于切割衬底的台，该台包括支承构件和第一管线，其中：支承构件用于将衬底安装在其上，包括多个单元区域，并且限定位于多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线；第一管线插入到凹槽线中以接触凹槽线的内壁，并且具有敞开的上部部分。

凹槽线和第一管线可以具有格子形状。

第一管线可以与凹槽线分离。

台还可以包括排出线，该排出线连接到凹槽线以用于通过排出线将异物从凹槽线排出，其中，第一管线具有与凹槽线对应的形状，并且限定将第一管线的内部空间和排出线连接的狭缝线。

台还可以包括具有与排出线对应的形状的第二管线，该第二管线插入到排出线中。

第二管线的内部空间可以通过狭缝线连接到第一管线的内部空间。

第二管线可以与第一管线集成为一体。

支承构件还可以包括位于多个单元区域之间与凹槽线重叠的多个虚设区域，并且台还可以包括与多个虚设区域对应的子管线。

台还可以包括多条子凹槽线，多条子凹槽线在多个虚设区域与多个单元区域之间沿着与凹槽线相同的方向延伸。

多条子凹槽线可以在子管线下方彼此连接。

子管线可以包括用于吸附衬底的多个开口。

第一管线可以与子管线集成为一体。

第一管线还可以包括位于与支承构件接触的表面上的涂覆层，其中，涂覆层与支承构件之间的摩擦系数小于第一管线与支承构件之间的摩擦系数。

涂覆层可以包括特氟隆。

第一管线可以包括金属材料。