[发明专利]一种超耐磨的硬质碳基涂层

权利要求书

1.一种镀有多层膜层的基材，按以下顺序包括：

(i)含有ta-C的第一功能层；

(ii)含有ta-C的第二功能层；

(iii) (a) 含有ta-C的第三功能层和包含一种基本元素碳化物的第一过渡层或者(b) 包含一种基本元素碳化物的第一过渡层和包含一种基本元素的第二过渡层；

其中ta-C涂层中氢含量少于10%并且sp² 结构含量少于30%;

其中 (i) 杨氏模量，或 (ii) 硬度，或 (iii) 杨氏模量和硬度按照涂层顺序都独立地保持稳定或者增加，比如(iii) (a) 从第一过渡层到第一功能层，或者 (iii) (b) 从第二过渡层到第一功能层。

2.根据权利要求要求1得到的镀膜后的基材，包括以下顺序排列：

(i) 含有ta-C的第一功能层；

(ii) 含有ta-C的第二功能层；

(iii) (b) 包含一种基本元素碳化物的第一过渡层和包含一种基本元素的第二过渡层。

3.根据权利要求要求1或2得到的镀膜后的基材，其中在(iii) (b)中涂层包括一层或多层含有ta-C的功能层，位于第二功能层和第一过渡层之间。

4.根据权利要求要求1、2或3得到的镀膜后的基材，其中在(iii) (b)中涂层包括一层或多层过渡层，位于第二过渡层和基材之间。

5.根据权利要求要求1得到的镀膜后的基材，其中在(iii) (a)中涂层包括一层或多层过渡层，位于第一过渡层和基材之间。

6.根据任何前述权利要求要求得到的镀膜后的基材，其中ta-C中氢含量少于等于5%并且sp² 结构含量少于等于20% 。

7.根据任何前述权利要求要求得到的镀膜后的基材，其中ta-C中氢含量少于等于2%并且sp² 结构含量少于等于15% 。

8.根据任何前述权利要求要求得到的镀膜后的基材，其中基材是金属的，纯金属或者合金，比如钢铁。

9.根据任何前述权利要求要求得到的镀膜后的基材，其中基材是钢或各种各样的钢（比如钢铁、不锈钢、高速钢、工具钢和合金钢）。

10.根据任何前述权利要求1-7得到的镀膜后的基材，其中基材是陶瓷。

11.根据任何前述权利要求得到的镀膜后的基材，其中基本元素是W、Si、Cr、Ni 或 Ti。

12.根据任何前述权利要求得到的镀膜后的基材，其中基本元素是W 。

13.根据任何前述权利要求1-11得到的镀膜后的基材，其中基本元素是Ti。

14.根据任何前述权利要求1-11得到的镀膜后的基材，其中基本元素是 Si。

15.根据任何前述权利要求得到的镀膜后的基材，其中第二过渡层进一步包括了不同于基本元素的第二种元素。

16.根据权利要求15得到的镀膜后的基材，其中第二种元素为W、Si、Cr、Ni 或 Ti。

17.根据权利要求16得到的镀膜后的基材，其中第二种元素为Cr、Ti 或Si。

18.根据权利要求15-17任意一条得到的镀膜后的基材，在基材和第二过渡层之间包含至少一个含有一种元素的第三过渡层。