[发明专利]空气轴承

权利要求书

1.一种空气轴承，包括：

主体部分，具有面对引导表面的承载表面；

流动路径部分，设置在主体部分中，压缩空气通过该流动路径流动；

空气膜形成部分，将流过流动路径部分的压缩空气供应到引导表面，以在承载表面和引导表面之间形成空气膜；

负压力产生部分，通过增加所经过的压缩空气的流动速度产生负压力，从而抽吸承载表面和引导表面之间的空气，负压力产生部分设置在流动路径部分中；

排放路径，排放经过负压力产生部分的压缩空气和被负压力产生部分抽吸的空气，排放路径与流动路径部分连通；

流率调整部分，根据与施加到主体部分的负荷对应的压缩空气压力来调整从流动路径部分流动到排放路径的空气的流率；和

流率调整部分包括运动构件，该运动构件在接收到与施加到主体部分的负荷对应的压缩空气压力时沿运动方向运动。

2.如权利要求1所述的空气轴承，进一步包括

传播路径，其将与施加到主体部分的负荷对应的压缩空气压力传播到流率调整部分，其中

流率调整部分在接收到经由传播路径传播的压缩空气压力时调整从流动路径部分流动到排放路径的空气的流率。

3.如权利要求2所述的空气轴承，其中

传播路径是在主体部分中连接流率调整部分和流动路径部分的路径。

4.如权利要求2所述的空气轴承，其中

流率调整部分在经由传播路径传播的压缩空气压力低时通过增加从流动路径部分流动到排放路径的空气的流率而有助于从承载表面和引导表面之间抽吸空气，和在经由传播路径传播的压缩空气压力高时通过降低从流动路径部分流动到排放路径的空气的流率而抑制从承载表面和引导表面之间抽吸空气。

5.如权利要求1所述的空气轴承，其中

用于在流动路径部分和排放路径之间形成连通的连通部分具有连通端口，且

流率调整部分通过关闭连通端口而停止通过负压力产生部分进行的空气抽吸。

6.如权利要求5所述的空气轴承，进一步包括

抽吸路径，从承载表面和引导表面之间抽吸的空气通过该抽吸路径流动到负压力产生部分，其中

通过关闭连通端口，流率调整部分经由抽吸路径在承载表面和引导表面之间供应用于形成空气膜的压缩空气。

7.如权利要求6所述的空气轴承，其中

在流率调整部分关闭连通端口时在承载表面和引导表面之间形成的空气膜的区域比在流率调整部分打开连通端口时在承载表面和引导表面之间形成的空气膜的区域更宽。

8.如权利要求6所述的空气轴承，其中

负压力产生部分具有喷嘴，该喷嘴限制压缩空气的流动路径，且

流率调整部分通过关闭连通端口而经由抽吸路径在承载表面和引导表面之间供应经过喷嘴的压缩空气。

9.如权利要求1所述的空气轴承，其中

运动构件运动，以调整在流动路径部分和排放路径之间经过连通端口的空气的流率。

10.如权利要求9所述的空气轴承，其中

运动构件响应于压缩空气的压力变化而沿运动方向来回运动，所述压力变化对应于施加到主体部分的负荷的压力变化。

11.如权利要求10所述的空气轴承，其中

流率调整部分进一步包括偏压构件，该偏压构件将运动构件沿运动方向偏压远离连通端口，且

在接收到压缩空气压力时，运动构件抵抗偏压构件的偏压力运动，以沿运动方向接近连通端口。

12.如权利要求9所述的空气轴承，其中

运动构件包括弹性构件，该弹性构件在接收到压缩空气压力时能沿运动方向伸展；和

柱部分，根据弹性构件的伸展和收缩沿运动方向运动，以调整经过连通端口的空气的流率，柱部分设置在弹性构件的末端侧。

13.如权利要求9所述的空气轴承，其中

运动构件是轴构件，该轴构件在接收到压缩空气压力时沿运动方向运动，且

柱部分根据轴构件的运动调整经过连通端口的空气的流率，柱部分设置在轴构件的末端侧。