[发明专利]一种柔性基底上稳定导电互联通路的制备方法有效
申请号: | 201911080039.8 | 申请日: | 2019-11-07 |
公开(公告)号: | CN110753453B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 韩飞;张愿;张国旗;叶怀宇;刘旭;纪飞;张国平 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06;C23C14/02;C23C14/20;C23C14/35;C23C14/04;G01N33/487;G01N33/50;A61B5/145;A61B5/00 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 阎冬 |
地址: | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 基底 稳定 导电 联通 制备 方法 | ||
1.一种柔性基底上稳定导电互联通路的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)利用等离子体处理使柔性基底表面使其清洁提高亲水性;
(2)将增粘剂溶液均匀旋涂在步骤(1)处理后的柔性基底上,并烘干;所述旋涂条件为:旋涂转速为1000-5000rpm,旋涂时间为1-100s,旋涂次数为1-3次,旋涂后烘干温度为60-90℃;
(3)将(2)得到的柔性基底置于磁控溅射设备中,进行局域化喷金得到稳定导电互联通路的柔性基底;
(4)在(3)处理后未喷金的部分区域刮涂银-氯化银参比电极浆料,固化,然后取出在局域有金层的区域滴涂具有离子响应性能的前驱体溶液,将溶剂自然挥干,即得到柔性基底上稳定导电互联通路;
所述等离子体处理气体包括氧气和氩气;
所述步骤(4)中所述银-氯化银参比电极浆料固化温度为50-100℃,自然挥干溶剂时间12-48h。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)中所述柔性基底由二甲基硅氧烷和固化剂的质量比为10-20:1制得,其厚度为10-300μm;所述等离子体处理的功率为100-1000W;所述氧气流量为10-300sccm,所述氩气流量为50-400sccm,等离子体处理时间为1-60min。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中所述增粘剂溶液是KH550溶液,KH550溶液是由质量比为乙醇:去离子水:KH550=30-50:1-10:1,然后将所述KH550溶液按照10-50:1的质量比比例与丙二醇甲醚混合制得。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中所述磁控溅射金层时间为1-10min,溅射电流为10mA-50mA。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)中所述前驱体溶液,钠离子选择性前驱体溶液其由四(3,5-二(三氟甲基)苯基)硼酸钠、聚氯乙烯、癸二酸二异辛酯、钠离子载体X按照质量比为0.1-1.5:30-34.5:69.4-61:0.5-3的比例溶解在700μL四氢呋喃溶液中配制形成。
6.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)中所述前驱体溶液为钙离子选择性前驱体溶液,其由四(3,5-二(三氟甲基)苯基)硼酸钠、聚氯乙烯、癸二酸二异辛酯、钙离子载体Ⅱ按照质量比为0.1-1.5:30-34.5:69.4-61:0.5-3的比例溶解在700μL四氢呋喃溶液中配制形成。
7.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)中所述前驱体溶液为钾离子选择性前驱体溶液,其由四苯硼钠、聚氯乙烯、癸二酸二异辛酯、缬氨霉素按照质量比为0.1-1:30-35:69.4-62:0.5-2的比例溶解在400μL环己酮溶液中配制形成。
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