[发明专利]低氧球形钽粉及其制备方法

权利要求书

1.一种低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：制备原料粉末；

S2：球化，将S1步骤制备得到的原料粉末进行等离子球化，得到球化后钽粉，且所述球化后钽粉的氧含量低于500ppm；

S3：筛分，将S2步骤得到的所述球化后钽粉按照目标粒度进行一次或多次筛分处理，得到符合增材制造的粒度范围的钽粉；

S4：分级，在气体保护下对S3步骤得到的钽粉进行气流分级处理，～去除粒度15μm以下细粉。

2.根据权利要求1所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，所述步骤S1包括：

S1-1：制备钽粉粉末；

S1-2：筛分，对S1-1步骤得到的所述钽粉粉末进行一次或多次筛分处理。

3.根据权利要求2所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，S1-1步骤中，采用氢化脱氢法制备得到所述钽粉粉末，其中，所述氢化脱氢法的工艺过程为在电阻氢化炉内充入氢气至(1.0～2.0)×10⁵Pa，温度600～900℃氢化处理、球磨破碎、600～900℃脱氢，获得所述钽粉粉末。

4.根据权利要求2所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，S1-2步骤中，采用振动筛分设备对S1-1步骤得到的所述钽粉粉末进行筛分。

5.根据权利要求1所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，S2步骤中，球化功率为5～80KW，工作气流量为20～80L/min，边气流量为50～100L/min，系统压力为80～100KPa。

6.根据权利要求1所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，S2步骤中，等离子球化过程中的等离子炬为直流等离子炬或射频等离子体炬。

7.根据权利要求1所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，S2步骤中，工作气体为氩气、氮气、氦气和氢气中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，S3步骤中，采用振动筛分设备对S2步骤得到的所述球化后钽粉进行筛分。

9.根据权利要求1所述的低氧球形钽粉的制备方法，其特征在于，S4步骤中，采用气流分级机进行分级处理，并采用氩气保护；其中，所述气流分级机的进料功率为10～20W。

10.根据权利要求1-9任一项所述的低氧球形钽粉的制备方法制备得到的低氧球形钽粉，其特征在于，所述低氧球形钽粉的球形率高于99％。