[发明专利]一种基于波导结构的光探测器在审
| 申请号： | 201911076844.3 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110779622A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金华伏安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;G01J1/02;G01J1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光栅 光探测器 光敏材料 探测 光栅表面 电磁波 探测光 衬底 光源 有效折射率 波导结构 光源激发 探测波段 波段光 材料条 非光敏 折射率 波长 波段 探测器 传播 照射 响应 | ||
1.一种基于波导结构的光探测器，包括衬底、光源、光探测器、光栅，光栅置于衬底上，光源和光探测器置于光栅的两端，光源激发出沿光栅表面传播的电磁波，光探测器探测沿光栅表面传播的电磁波，其特征在于，光栅由非光敏材料条和光敏材料条构成。
2.如权利要求1所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条位于所述光栅的中部、所述非光敏材料条位于所述光栅的两端。
3.如权利要求2所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：与所述非光敏材料条相邻的光敏材料条的宽度大于其他光敏材料条的宽度。
4.如权利要求1所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条与非光敏材料条间隔设置。
5.如权利要求4所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条的宽度大于所述非光敏材料条的宽度。
6.如权利要求4所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条的高度大于所述非光敏材料条的高度。
7.如权利要求1所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条与所述非光敏材料条连接，并形成一个周期的单元，相邻的周期单元间具有一定间隔。
8.如权利要求7所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条的宽度大于所述非光敏材料条的宽度。
9.如权利要求7所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条的高度大于所述非光敏材料条的高度。
10.如权利要求1-9任一项所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述非光敏材料条的材料为二氧化硅，所述光敏材料条的材料为氧化锗或氧化硼。
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