[发明专利]一种皮秒激光切割设备

权利要求书

1.一种皮秒激光切割设备，其特征在于：包括多自由度移动装置、激光切割装置和第一对准装置；

激光切割装置设置在多自由度移动装置上，激光切割装置包括从上往下依次设置的第二对准装置、光束耦合装置和激光切割头，第一对准装置和第二对准装置对准配合，第一对准装置将射入的激光传输至第二对准装置，第二对准装置将射入的激光传输至光束耦合装置，光束耦合装置对射入的激光依次进行位移偏差消除和扩束后射入激光切割头。

2.根据权利要求1所述的一种皮秒激光切割设备，其特征在于：光束耦合装置和激光切割头之间设置有旋转套筒，光束耦合装置射出的激光穿过旋转套筒射入激光切割头，旋转套筒用以调节光束耦合装置和激光切割头之间的间距。

3.根据权利要求1所述的一种皮秒激光切割设备，其特征在于：还包括用以承载切割物的承载平台，通过多自由度移动装置，激光切割装置在承载平台上方移动，并且射出的激光与承载平台垂直。

4.根据权利要求3所述的一种皮秒激光切割设备，其特征在于：多自由度移动装置为二自由度移动装置，包括龙门架，龙门架的两立柱分别与承载平台的两侧滑移连接，激光切割装置滑移连接在龙门架的上横梁上。

5.根据权利要求4所述的一种皮秒激光切割设备，其特征在于：承载平台上开有气孔阵列。

6.根据权利要求5所述的一种皮秒激光切割设备，其特征在于：每个气孔内设置有阀门。

7.根据权利要求1所述的一种皮秒激光切割设备，其特征在于：还包括入射装置和光束抬升柱，入射装置设置在光束抬升柱的底端，第一对准装置设置在光束抬升柱的顶端，入射装置将射入的激光传输至光束抬升柱，光束抬升柱抬升激光光束高度后射入第一对准装置。