[发明专利]一种密集孔激光精密加工方法

权利要求书

1.一种密集孔激光精密加工方法，其特征在于，该加工方法包括：

通过长行程运动机构带动激光加工头移动至基材待加工孔位置，通过微动机构带动激光加工头在基材待加工孔位置进行激光打孔，所述激光打孔包括以下步骤：

步骤1、定位孔中心，包括：采用连续激光光束照射基材形成穿孔点，以所述穿孔点作为待加工孔的孔中心；

步骤2、形成孔边界，包括：采用激光光束环绕孔中心按照待加工孔的孔型扫描形成孔边界；

步骤3、孔成型，包括：采用脉冲激光光束在孔边界范围内按照待加工孔的孔型螺旋下降扫描照射基材，逐层熔化切除孔内基材使孔成型；

步骤4、去除孔内材料，包括：通过高速射流吹扫，去除孔内残余的熔渣；该步骤4中，采用多束汇聚的射流对准孔内熔渣进行所述高速射流吹扫；所述射流采用的流体为氮气、氩气、水或冷却液；

步骤5、重复以上步骤，直至待加工孔全部加工完毕。

2.根据权利要求1所述的一种密集孔激光精密加工方法，其特征在于：所述步骤3中，根据脉冲激光光束在基材上照射位置的光强反馈控制激光的脉冲频率，所述脉冲激光的占空比范围为1:100至1:1。

3.根据权利要求2所述的一种密集孔激光精密加工方法，其特征在于：所述步骤3中，在激光光束螺旋下降扫描照射基材的过程中，通过激光测距和/或CCD影像测距实时测量当前打孔深度，再根据所述当前打孔深度反馈调整所述脉冲激光光束的离焦量，直至打孔达到预设孔深。

4.根据权利要求1所述的一种密集孔激光精密加工方法，其特征在于：所述长行程运动机构为多轴机器人或桁架机床。

5.根据权利要求1所述的一种密集孔激光精密加工方法，其特征在于：所述微动机构为微动机械手。