[发明专利]一种基于籽晶替换方案的导膜法蓝宝石晶体生长炉有效
| 申请号： | 201911066882.0 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110923815B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 徐军;赵衡煜;王东海;李东振;王庆国 | 申请（专利权）人： | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/34 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 沈振涛 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 籽晶 替换 方案 导膜法 蓝宝石 晶体生长 | ||
1.一种基于籽晶替换方案的导膜法蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：包括基座(1)、坩埚(2)、模具(3)、籽晶(5)、籽晶杆(6)、籽晶替换盘(7)、升降机(8)、晶体生长炉腔体(10)；所述基座(1)固定设置在晶体生长炉腔体(10)底部的外侧，一端连接有坩埚(2)；所述坩埚(2)固定安装在晶体生长炉腔体(10)内部，且内部设置有模具(3)；所述籽晶替换盘(7)固定安装在晶体生长炉腔体(10)的顶端，设置有多组通孔，每组通孔内固定安装有一组籽晶杆(6)，其中一组籽晶杆(6)设置在模具(3)正上方，其他通孔中的籽晶杆(6)设置在晶体生长炉腔体(10)内且模具(3)正上方的侧面；所述升降机(8 )连接籽晶替换盘(7 )上的籽晶杆(6)，用于多组籽晶杆(6)的升降调整；
所述晶体生长炉腔体(10)的腔体(9)为不锈钢腔体，内部设置有循环水冷却装置；
所述晶体生长炉腔体(10)还设置有生长腔炉门和观察窗，观察窗口用于实时监控晶体生产过程；
所述籽晶杆(6)为钼籽晶杆，长度设置为65-105cm，设置有2-3组籽晶杆(6)；其中仅有一组籽晶杆(6)的工作槽内装有的籽晶(5)位于模具(3)的正上方，其他组籽晶杆(6)位于晶体生长炉腔体(10)内且模具(3)的一侧；
所述模具(3)设有狭缝，模具(3)设置在坩埚(2)中，两者组成熔体供料系统，坩埚(2)中熔体根据毛细作用，从模具(3)中的狭缝向上攀爬，直至爬出模具(3)口，在与籽晶(5)接触后形成晶体单晶(4)，模具(3)能够使得多片同步生长，能够一次生长10-20长片状单晶(4)。
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