[发明专利]一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器有效
| 申请号： | 201911064276.5 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN110727048B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;蔡松炜;王玉姣;沈黎明;林瑞;吕江泊;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/125;G02B5/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 表面 等离子 面向 um 波段 调谐 功率 耦合器 | ||
1.一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，包括基底，连接在所述基底上的输入条形波导、耦合波导部、输出S波导和输出条形波导，其特征在于：所述耦合波导部由条形波导A、等离子波导、条形波导B平行间距排列构成，所述条形波导A与输入条形波导和输出S波导衔接，所述条形波导B与输出条形波导衔接，所述等离子波导自下而上依次由底层条形波导，下层石墨烯，介质，上层石墨烯，金属覆盖层构成，所述下层石墨烯和金属覆盖层与外部电极相连。
2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述条形波导A与输入条形波导和输出S波导宽度、高度均一致；所述条形波导B与输出条形波导宽度、高度均一致。
3.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述等离子波导中的石墨烯-介质-石墨烯的多层结构通过电极加载电压控制石墨烯的表面电导率来控制多层结构的有效折射率。
4.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述基底上的输入条形波导、耦合波导部、输出S波导和输出条形波导表面均采用二氧化硅或硫系玻璃进行封装。
5.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述上层石墨烯和下层石墨烯均包括单层石墨烯结构或多层石墨烯重叠结构。
6.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述条形波导和S波导均为半导体波导。
7.根据权利要求6所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述半导体波导包括硅波导。
8.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述等离子波导中的石墨烯-介质-石墨烯的多层结构上的金属及从石墨烯和金属引出的电极采用传统导电金属。
9.根据权利要求8所述的一种基于石墨烯表面等离子激元的面向2um波段的可调谐功率耦合器，其特征在于：所述传统导电金属包括金、银、铜、铂、钛。
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