[发明专利]密封门装置及光刻设备

说明书

本发明公开了一种密封门装置及光刻设备，该密封门装置包括密封板和密封门，密封板上开设有物料传输口，密封门具有遮挡物料传输口的关闭状态和离开物料传输口的开启状态，该密封门装置还包括：气缸滑台、导轨和平行度误差消除组件，气缸滑台和导轨设置在物料传输口两侧，密封门一端与气缸滑台连接，另一端与导轨的滑块连接，平行度误差消除组件设置在密封门与气缸滑台和/或密封门与滑块之间。上述的密封门装置能够有效提高激光退火效率，有助于提高光刻设备产率。相应地，本发明还提一种光刻设备。

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种密封门装置及光刻设备。

背景技术

激光退火工艺能够在背面退火而不损坏正面器件，并且激活效率高，在绝缘栅双极型晶体管、薄膜晶体管及图像传感器等制造领域逐步替代传统退火工艺。在激光退火的时候，激光会通过硅片传输的片库设备照射出来，会影响操作人员的安全，因此需要在硅片传输通道增加密封门装置。一般地，密封门装置包括密封门、气缸滑台和导轨，气缸滑台和导轨分别设置在密封门的两侧，气缸滑台提供驱动力，带动密封门在导轨上滑动，以实现密封门开启或关闭。在激光器打开的时候，密封门关闭，防止激光泄漏；在激光器关闭的时候，密封门开启，硅片传输机械手可以执行上下片操作。然而，由于气缸滑台和导轨之间的间距较大，且气缸滑台和导轨的自身长度较长，很难保证气缸滑台和导轨安装绝对平行，在使用过程中经常出现密封门运动不顺畅，甚至卡死的现象，严重影响激光退火效率，进而影响光刻设备产率。

发明内容

本发明的目的在于提出一种密封门装置，以克服传统密封门装置存在的运动不顺畅而影响激光退火效率及光刻设备产率的技术问题。

本发明的另一个目的在于提出一种光刻设备，能够提高激光退火效率，提高设备产率。

为达此目的，一方面，本发明采用以下技术方案：

一种密封门装置，包括密封板和密封门，所述密封板上开设有物料传输口，所述密封门具有遮挡所述物料传输口的关闭状态和离开所述物料传输口的开启状态，该密封门装置还包括：气缸滑台、导轨和平行度误差消除组件，所述气缸滑台和所述导轨设置在所述物料传输口两侧，所述密封门一端与所述气缸滑台连接，另一端与所述导轨的滑块连接，所述平行度误差消除组件设置在所述密封门与所述气缸滑台和/或所述密封门与所述滑块之间。

在其中一个实施例中，所述平行度误差消除组件包括：密封门连接件、滑块连接件、第一滚轮和第二滚轮，所述密封门连接件与所述密封门连接，所述滑块连接件与所述滑块连接，所述第一滚轮和所述第二滚轮沿所述密封门的运动方向设置在所述滑块连接件的两侧，所述第一滚轮和所述第二滚轮均一端与密封门连接件连接，另一端与滑块连接件抵接。

在其中一个实施例中，所述第一滚轮和所述第二滚轮均通过紧固件与所述密封门连接件连接。

在其中一个实施例中，所述滑块连接件包括移动板和挡板，所述移动板设置在所述第一滚轮和所述第二滚轮之间，且所述移动板与所述滑块连接，所述挡板设置在所述移动板上，且所述挡板位于所述第一滚轮和所述第二滚轮外侧。

在其中一个实施例中，所述平行度误差消除组件还包括浮动接头，所述浮动接头的接头体与所述密封门件连接，所述浮动接头的浮动头与所述密封门连接件连接。

在其中一个实施例中，所述密封门装置还包括止动气缸，所述止动气缸被配置为在所述密封门处于开启状态时对所述气缸滑台进行运动限位。

在其中一个实施例中，所述气缸滑台的两端和所述导轨的两端均设置有缓冲器。

在其中一个实施例中，所述密封门装置还包括关闭到位传感器和开启到位传感器，所述关闭到位传感器设置在所述气缸滑台上或所述导轨上，所述关闭到位传感器用于检测所述密封门是否处于所述关闭状态；所述开启到位传感器设置在所述气缸滑台上或所述导轨上，所述开启到位传感器用于检测所述密封门是否处于所述开启状态。