[发明专利]像素结构及制作方法、阵列基板、显示面板有效

专利信息
申请号: 201911061799.4 申请日: 2019-11-01
公开(公告)号: CN110649046B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 王国英;宋振 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 王辉;阚梓瑄
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 像素 结构 制作方法 阵列 显示 面板
【说明书】:

发明涉及显示技术领域,提出一种像素结构及制作方法、阵列基板、显示面板,该像素结构包括存储电容,存储电容包括第一电容结构,像素结构还包括:基板、遮光金属层、缓冲层、第一栅极绝缘层、第一栅极层。遮光金属层设置于基板上;缓冲层设置于基板上,且覆盖遮光金属层;第一栅极绝缘层设置于缓冲层背离基板的一侧;第一栅极层设置于第一栅极绝缘层背离基板的一侧,以与遮光金属层形成第一电容结构。该像素结构形成的第一电容结构电容值较大,且制作流程简单。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种像素结构及制作方法、阵列基板、显示面板。

背景技术

显示器分辨率升级一直都是显示行业发展的大趋势。随着显示屏尺寸变大,分辨率变高,相应的,显示面板中电源走线的压降也会变大,为了减小电源走线的压降,相关技术会采用较厚的金属走线作为电源走线。

相关技术中,电源走线设置于有源层和源/漏层之间的介电层内,随着电源走线的厚度增加,该介电层的厚度也需要相应增加。

然而,相关技术中,像素结构中的存储电容通常由部分有源层与部分源/漏层组成,随着有源层和源/漏层之间介电层厚度的增加,像素结构中的存储电容的电容值会相应减小,从而导致不能满足显示面板的需求。

需要说明的是,在上述背景技术部分发明的信息仅用于加强对本发明的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的目的在于提供一种像素结构及制作方法、阵列基板、显示面板。该像素结构能够解决相关技术中存储电容电容值过小的技术问题。

本发明的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然,或部分地通过本发明的实践而习得。

根据本发明的一个方面,提供一种像素结构,该像素结构包括存储电容,所述存储电容包括第一电容结构,所述像素结构还包括:基板、遮光金属层、缓冲层、第一栅极绝缘层、第一栅极层。遮光金属层设置于所述基板上;缓冲层设置于所述基板上,且覆盖所述遮光金属层;所述第一栅极绝缘层设置于所述缓冲层背离所述基板的一侧;所述第一栅极层设置于所述第一栅极绝缘层背离所述基板的一侧,以与所述遮光金属层形成所述第一电容结构。

本发明的一种示例性实施例中,所述像素结构还包括驱动晶体管,所述像素结构还包括:半导体层、第二栅极绝缘层、第二栅极层。半导体层设置于所述缓冲层背离所述遮光金属层的一侧,用于形成所述驱动晶体管的有源层;第二栅极绝缘层与所述第一栅极绝缘层同层设置,且所述第二栅极绝缘层设置于所述半导体层背离所述基板的一侧;第二栅极层与所述第一栅极层同层设置,且所述第二栅极层设置于所述第二栅极绝缘层背离所述基板的一侧,用于形成所述驱动晶体管的栅极。

本发明的一种示例性实施例中,所述电容还包括与所述第一电容结构并联的第二电容结构,所述像素结构还包括:介电层、源/漏层、钝化层、平坦层、第一电极层。介电层设置于所述缓冲层上,且覆盖所述第一栅极层、第二栅极层,其中,所述缓冲层、介电层上设置有第一过孔,所述第一过孔的正投影覆盖至少部分所述遮光金属层,所述介电层上设置有第二过孔、第三过孔,所述第二过孔的正投影覆盖至少部分所述半导体层,所述第三过孔的正投影覆盖至少部分所述第一栅极层;源/漏层设置于所述介电层上,包括第二源/漏层以及用于形成所述驱动晶体管第一极的第一源/漏层,所述第一源/漏层覆盖所述第一过孔、第二过孔以连接所述遮光金属层和所述半导体层,所述第二源/漏层覆盖所述第三过孔以连接所述第一栅极层;钝化层设置于所述介电层上,且覆盖所述源/漏层;平坦层设置于所述钝化层背离所述基板的一侧,其中所述平坦层、钝化层上设置于第四过孔,所述第四过孔的正投影覆盖至少部分所述第一源/漏层;第一电极层设置于所述平坦层背离所述基板的一侧,所述第一电极层覆盖所述第四过孔以连接所述第一源/漏层,且部分所述第一电极层与所述第二源/漏层形成所述第二电容结构。

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