[发明专利]一种多层瓷介电容器检测方法

权利要求书

1.一种多层瓷介电容器检测方法，其特征在于，包括：

根据待测电容器确定相应的检测扫描参数；

根据所述检测扫描参数对声学显微镜进行配置；

利用配置好的所述声学显微镜对所述待测电容器进行扫描检测，得到扫描结果；

对所述扫描结果进行验证。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声学显微镜的型号为SONIX Q-350。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述检测扫描参数包括准备参数、扫描模式参数与成像模式参数；

所述准备参数用于确定所选用的声学扫描探头规格；

所述扫描模式参数用于确定所述声学显微镜的扫描工作模式；

所述成像模式参数用于确定数据处理模块的数据处理工作模式。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述准备参数包括：

所选用的所述声学扫描探头规格为75Mhz。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述扫描模式参数包括：

所述声学显微镜的扫描ENERGY模式为勾选状态；

设定所述声学显微镜的扫描高通参数为5，扫描低通参数为300。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述成像模式参数包括：

取消所述声学显微镜成像数据窗中的Phase Gate 1数据窗，并添加DataGate 1与DataGate2数据窗；

选取扫描模式为C-Scan模式。

7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述利用配置好的所述声学显微镜对所述待测电容器进行扫描检测包括：

将所述待测电容器放入去离子水中，安装声学扫描探头并移动所述声学扫描显微镜将所述声学扫描探头对准所述待测电容器中心部位，调节动态扫描参数对所述待测电容器进行扫描。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述动态扫描参数包括增益参数、聚焦参数与分辨率参数；

其中，所述分辨率参数为10或20。

9.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述扫描结果进行验证为采用TAMI扫描方式对所述待测电容器再次进行扫描，将两次扫描结果进行比对验证。