[发明专利]一种掩膜浆料及其制备方法

权利要求书

1.一种掩膜浆料，其特征在于，所述掩膜浆料包含如下质量百分比的组分：固体树脂1％～12％、有机溶剂20％～60％、无机粉体A 30％～70％、无机粉体B 0％～40％、颜料0％～5％。

2.如权利要求1所述的掩膜浆料，其特征在于，所述掩膜浆料包含如下质量百分比的组分：固体树脂7％、有机溶剂35％、无机粉体A 40％、无机粉体B 15％、颜料3％。

3.如权利要求1或2所述的掩膜浆料，其特征在于，所述无机粉体A为高岭土、云母粉、膨润土、氧化硅、氧化铝、氧化镁、滑石粉，钛白粉、硅酸铝镁、碳酸钙、硅灰石、水镁石中的至少两种。

4.如权利要求3所述的掩膜浆料，其特征在于，所述无机粉体A中的至少一种经过亲水处理后使用。

5.如权利要求3所述的掩膜浆料，其特征在于，所述无机粉体A为氧化硅和膨润土。

6.如权利要求1或2所述的掩膜浆料，其特征在于，所述无机粉体A为层片状粉体或针棒状粉体，粒径为0.1～10μm。

7.如权利要求1或2所述的掩膜浆料，其特征在于，所述固体树脂为聚乙二醇、脲醛树脂、聚丙烯酸树脂、聚乙烯吡咯烷酮、聚环氧乙烷、改性聚丁二烯树脂、醇酸树脂、氨基树脂、羟丙基纤维素、聚氨酯树脂、有机硅树脂、有机氟树脂中的至少一种。

8.如权利要求1或2所述的掩膜浆料，其特征在于，所述有机溶剂为乙酸乙酯、甘油、乙二醇、聚乙二醇400、二乙二醇单丁醚、丙二醇、丁二醇、N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、乙二醇单丁醚、二乙二醇单丁醚、三乙二醇单丁醚、二甘醇单丁醚、乙二醇二丁醚、1,3,5-三(烯己基)-3-甲基-戊三醚、脂肪醇聚氧乙烯醚三醚、二乙二醇二丁基醚、乙酸乙二醇甲醚、二(丙二醇)甲基醚乙酸中的至少一种。

9.如权利要求1或2所述的掩膜浆料，其特征在于，所述无机粉体B为氧化铝、氧化硅、氧化镁、氧化钙中的至少一种，所述颜料为氧化铬、酞青蓝、酞青绿中的至少一种。

10.如权利要求1～9任一项所述的掩膜浆料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)有机载体的制备：将固体树脂加入有机溶剂中混合均匀，充分搅拌并完全溶解，经筛网过滤后得到有机载体待用；

(2)掩膜浆料的制备：将步骤(1)得到的有机载体、无机粉体A、无机粉体B、颜料分别加入混炼缸进行混炼，待搅拌均匀后经三辊轧机轧制得到掩膜浆料。