[发明专利]一种碳化硅烧结炉的抽真空装置

权利要求书

1.一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，包括烧结炉（1）和真空泵（2），其特征在于：所述烧结炉（1）的出气端与真空泵（2）的进气端通过导管（3）连通，所述导管（3）靠近烧结炉（1）的一端滑动插设有安装块（4），所述安装块（4）内设有通口，所述通口内依次固定插设有过滤网（5）、杀菌网（6）和吸附网（7），所述安装块（4）的一端贯穿导管（3）的内壁并向外延伸，所述安装块（4）延伸的一端固定连接有固定块（8），所述导管（3）的外壁上固定连接有卡块（9），所述卡块（9）上滑动插设有卡杆（10），所述卡杆（10）靠近卡块（9）的一端固定套接有卡套（11），所述卡杆（10）远离卡套（11）的一端固定连接有拉杆（12），所述导管（3）远离烧结炉（1）的一端通过转杆（13）转动连接有挡板（14），所述挡板（14）的边缘与导管（3）的内壁相接触，所述转杆（13）的顶部贯穿导管（3）的内壁并固定连接有旋钮（15），所述旋钮（15）的一端螺纹插设有锁紧螺钉（16），所述导管（3）的外壁上环绕设有与锁紧螺钉（16）对应的多个锁紧槽。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述杀菌网（6）为涂有陶瓷层和纳米涂层的金属网。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述吸附网（7）为活性炭吸附网。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述卡杆（10）上套设有第一弹簧（17），所述第一弹簧（17）的两端分别与卡套（11）和卡块（9）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述转杆（13）的顶部转动套接有密封圈（18），所述密封圈（18）的一侧与导管（3）的顶部相抵。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述导管（3）的内壁上设有与安装块（4）对应的插槽，所述插槽内通过多个第二弹簧（19）连接有垫板（20）。