[发明专利]一种射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构有效
| 申请号: | 201911055588.X | 申请日: | 2019-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN110931452B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
| 发明(设计)人: | 李照荣;徐刚;吕立明;曾荣;黄学骄 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498 |
| 代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 蒋斯琪 |
| 地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 射频 直流 旋转 对称 反复 菊花 链结 | ||
1.一种射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构,其特征在于:包括作为上板的基板A和作为下载板的基板B,基板A和基板B通过BGA垂直互连,基板A和基板B之间为焊球;基板A和基板B均包括M-1层介质,按照从上至下的顺序均依次包括金属层L1—LM,M≥3,且M为奇数;所述基板A和基板B之间内部的信号连接关系为:N个射频通道和N个完全相同的射频成180°旋转对称的对比通道,每个射频通道由多个BGA_Pad-Via- Strip Line -Via-BGA_Pad互连结构构成,通过基板A、基板B倒装形成完整的射频通道,射频通道上串连多个BGA,所述射频通道走线采用类同轴带状线结构;射频通道之间为直流 通道,N+1个直流通道和N+1个完全相同的直流成180°旋转对称的对比通道,每个通道由多个BGA_Pad-Via-Strip Line -Via-BGA_Pad互连结构构成,通过基板A、基板B倒装形成完整的射频通道,直流通道上串连多个BGA,直流通道采用折线型布局方式。
2.根据权利要求1所述的射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构,其特征在于:基板A和基板B之间的金属图形用于承担BGA垂直互连与信号导出检测;在所述基板A和基板B之间的金属图形的BGA装配区包括有金属化焊盘、阻焊区,所述金属化焊盘、阻焊区与BGA的大小、装配工艺需求相匹配;所述信号导出为CPWG结构。
3.根据权利要求1所述的射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构,其特征在于:在平面上,射频、直流通道有完全相同的对比通道,整体成180°旋转对称,实现高相似度的对比验证。
4.根据权利要求1或2所述的射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构,其特征在于:当基板A与基板B分别朝上装配,则基板A的最底层金属层LM与基板B的最上层金属层L1对应互连。
5.根据权利要求1或2所述的射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构,其特征在于:当基板A与基板B分别朝下装配,则基板A的最上层金属层L1与基板B的最底层金属层LM对应互连。
6.根据权利要求1所述的射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构,其特征在于:所述金属层L1—LM中,第L1- 第L(M+1)/2层为正面金属层,第L(M+1)/2层-第M+1为背面金属层,其中位于中间层的金属层L(M+1)/2层作为射频参考地边界,将基板的正反面不同设计结构隔离开。
7.根据权利要求1所述的射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构,其特征在于:整个射频直流旋转对称正反复用型菊花链结构基于HTCC基板实现加工。
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