[发明专利]感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法在审
| 申请号: | 201911054758.2 | 申请日: | 2019-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN111123644A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
| 发明(设计)人: | 李相勋;尹赫敏;吕泰勋;朴钟赫 | 申请(专利权)人: | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039;G02F1/1333;H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金成哲;宋海花 |
| 地址: | 韩国仁*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 显示器 图案 形成 方法 | ||
本发明涉及感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法,该感光性树脂组合物包含:a)通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、含环氧基不饱和化合物和烯属不饱和化合物共聚而得的丙烯酸共聚物;b)共聚物以a、b和c的摩尔比包含化学式1至3所示的重复单元;c)1,2‑醌二叠氮化合物;及d)溶剂。本发明感光性树脂组合物具有优异的分辨率、光刻工艺裕度和耐热性,且敏感度和穿透性优异,提高粘结力等。化学式1至3中,a、b和c表示各单体间的摩尔比,a为1至10的整数,b和c各自独立地或同时为0至9的整数,a+b+c=10,n为1至10的整数,R为H或CH3。
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法,更具体地,本发明涉及一种分辨率、光刻工艺裕度、耐热性等优异的正型感光性树脂组合物。特别地,本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其敏感度和透明性优异且粘结力得到显著提高,从而适合于在LCD和OLED的制造工艺中形成层间绝缘膜及PDL(像素界定层)、柱状间隔物等。
背景技术
在TFT型液晶显示装置(LCD)和有机发光显示装置(OLED)的制造工艺中,层间绝缘膜用于使布置在各层之间的布线之间绝缘。
然而,由于近来已经开发出了高速响应和高分辨率装置,需要高开口率和低电阻布线技术,因此减小了电路的宽度以及形成厚度较高,从而出现了TFT的高度差变大的趋势。在这种情况下,为了平坦化程度而采用的层间绝缘膜的厚度会增加,这将成为导致敏感度和透明性下降的原因,从而造成显示装置面板的生产率和品质下降。
因此,迫切需要开发出敏感度、透明性等优异的绝缘膜。
发明内容
技术问题
本发明提供一种感光性树脂组合物,其分辨率、光刻工艺裕度、耐热性优异,特别是敏感度和透明性优异,并显著提高了粘结力,从而适合于在LCD和OLED制造工艺中形成层间绝缘膜及PDL、柱状间隔物等。
本发明还提供一种LCD和OLED基板,其包含感光性树脂组合物的固化体。另外,本发明还提供一种使用感光性树脂组合物形成显示基板图案的方法。
技术方案
本说明书中文公开的感光性树脂组合物包含:
a)通过使ⅰ)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、ⅱ)含环氧基不饱和化合物和ⅲ)烯属不饱和化合物共聚而得到的丙烯酸共聚物;
b)共聚物以下述式中定义的a、b和c的摩尔比包含由下述化学式1至3表示的重复单元;
c)1,2-醌二叠氮化合物;以及
d)溶剂。
[化学式1]
[化学式2]
[化学式3]
在所述化学式1至3中,a、b和c表示各单体之间的摩尔比,a为1至10的整数,b和c各自独立地或同时为0至9的整数,a+b+c=10,n为1至10的整数,R为H或CH3。
另外,本说明书中提供一种显示器(display device),其包含通过图案形成方法所形成的正型感光性树脂组合物的固化体。
另外,本说明书中提供一种使用正型感光性树脂组合物形成TFT-LCD、TSP(触摸屏面板)、OLED、O-TFT、EPD、EWD等显示器图案的方法。
本发明的其他方面的具体内容包含在以下描述中。
发明效果
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