[发明专利]一种用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法

权利要求书

1.一种用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器，其特征在于，所述气体传感器包括柔性基底和电极层，所述柔性基底表面修饰所述电极层，其中所述电极层包括3D SnS₂/RGO异质结构层。

2.根据权利要求1所述的一种用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器，其特征在于，所述柔性基底材料为LCP。

3.根据权利要求1所述的一种用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、3D SnS₂/RGO的制备：在持续搅拌条件下，将硫代乙酰胺和五水合氯化锡加入氧化石墨烯溶液中，所得混合物超声溶解后转移到反应釜中进行水热反应，将所得产物离心处理并洗涤，获得固态SnS₂/RGO产物；

S2、SnS₂/RGO气体传感器的制备：使用光刻胶在硅片上绑定双面覆铜的LCP薄膜，通过蚀刻方式去除所述LCP薄膜表面裸露的铜层，在其表面旋涂光刻胶层，溅射Cr/Au层，采用剥离技术在LCP基板上加工叉指电极，将所述步骤S1制得的固态SnS₂/RGO再分散在去离子水中制得水分散体，将其沉积在LCP基板的叉指电极表面，风干后制得气体传感器。

4.根据权利要求3所述方法制备的用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，硫代乙酰胺、五水合氯化锡和氧化石墨烯的质量比为30∶35∶4。

5.根据权利要求3所述方法制备的用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述水热反应条件为在180℃条件下加热10～12h。

6.根据权利要求3所述方法制备的用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述硅片厚度为300μm。

7.根据权利要求3所述方法制备的用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述旋涂光刻胶厚度为5μm。

8.根据权利要求3所述方法制备的用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，溅射Cr层厚度为8nm，Au层厚度为280nm。

9.根据权利要求3所述方法制备的用于二氧化氮检测的3D柔性二硫化锡/石墨烯气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述水分散体的浓度为2.0mg/mL。