[发明专利]晶圆检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 201911053517.6 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112748126A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王通;吴健健;吴祥芳 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 系统 方法 | ||
1.一种晶圆检测系统，其特征在于，包括：
入射光源；
分束镜，位于所述入射光源的一侧，用于将所述入射光源的入射光线分成多束；
多个偏光片，位于所述分束镜远离所述入射光源的一侧，所述偏光片的入射面与入射光线的夹角小于90°；分束后的多束入射光线一一对应入射到所述多个偏光片的表面，经所述偏光片一一对应反射到待检测的多个晶圆的表面；
信号接收装置，位于所述偏光片远离所述晶圆的一侧，用于接收经所述晶圆反射的光线；
分析装置，与所述信号接收装置相连接，用于根据所述信号接收装置接收的光线对所述晶圆进行分析检测。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测系统，其特征在于：所述晶圆检测系统还包括绿色滤光片，位于所述入射光源与所述分束镜之间。
3.根据权利要求2所述的晶圆检测系统，其特征在于：所述晶圆检测系统还包括中性滤光片，位于所述绿色滤光片及所述分束镜之间。
4.根据权利要求1所述的晶圆检测系统，其特征在于：所述偏光片的入射面与入射光线的夹角为45°，多个所述偏光片的入射面相互平行或位于同一平面上。
5.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆检测系统，其特征在于：所述晶圆检测系统还包括多个物镜，位于所述偏光片及所述晶圆之间，且与所述晶圆一一对应设置。
6.根据权利要求5所述的晶圆检测系统，其特征在于：所述分束镜为二向分光镜，所述偏光片、所述物镜及所述信号接收装置均为两个。
7.一种晶圆检测系统，其特征在于，包括：
入射光源；
半反半透镜，位于所述入射光源的一侧，用于将所述入射光源的入射光线进行反射和透射，以将所述入射光线分离为反射光线及透射光线，所述反射光线和所述透射光线分别入射至不同的待检测晶圆表面；
两个信号接收装置，分别用于接收经所述晶圆反射的反射光线和透射光线；
分析装置，与所述信号接收装置相连接，用于根据所述信号接收装置接收的光线对所述晶圆进行分析检测。
8.根据权利要求7所述的晶圆检测系统，其特征在于：所述晶圆检测系统还包括绿色滤光片，位于所述入射光源与所述分束镜之间。
9.根据权利要求8所述的晶圆检测系统，其特征在于：所述晶圆检测系统还包括中性滤光片，位于所述绿色滤光片及所述分束镜之间。
10.一种晶圆检测方法，其特征在于，所述晶圆检测方法包括将入射光源发射的入射光线分成多束后入射至多片晶圆的表面以同时实现对多片晶圆的检测。
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