[发明专利]基于波导结构的气体压强探测器及系统

权利要求书

1.一种基于波导结构的气体压强探测器，其特征在于，所述气体压强探测器包括：腔体、第一柔性部、第二柔性部、第一金属部、第二金属部、光纤、活塞和填充剂；

所述腔体为空腔，所述空腔内部相对的两个面位置设置有所述第一柔性部和所述第二柔性部，所述第一柔性部和所述第二柔性部相对的位置分别设置有所述第一金属部和第二金属部，所述第一金属部和所述第二金属部之间形成了一个通道，所述腔体在所述通道对应的位置上开设有两个孔，所述通道和所述两个孔形成贯通所述腔体的通孔，所述通孔的一端设置有所述活塞，所述通孔的另一端设置有所述光纤，所述光纤、所述活塞、所述第一金属部和所述第二金属部之间形成了一个密闭空间，所述密闭空间内部填充有所述填充剂；

所述通孔形状为长方体、倒“T”形或弯折形；当所述通孔形状为弯折形时，所述通孔靠近所述光纤的一端比所述通孔靠近所述活塞的一端窄。

2.根据权利要求1所述的基于波导结构的气体压强探测器，其特征在于，所述气体压强探测器还包括金属膜，所述金属膜设置在所述活塞靠近所述填充剂的一侧。

3.根据权利要求1所述的基于波导结构的气体压强探测器，其特征在于，所述气体压强探测器还包括第三金属部，所述活塞上开设有孔，所述第三金属部设置在所述活塞上的孔的位置。

4.根据权利要求3所述的基于波导结构的气体压强探测器，其特征在于，所述第三金属部的材料为贵金属。

5.根据权利要求1所述的基于波导结构的气体压强探测器，其特征在于，所述填充剂包括：液体填充剂和气体填充剂。

6.根据权利要求1所述的基于波导结构的气体压强探测器，其特征在于，所述第一金属部、所述第二金属部的材料均为贵金属。

7.根据权利要求6所述的基于波导结构的气体压强探测器，其特征在于，所述贵金属包括：金、银和钼中至少一种。

8.一种基于波导结构的气体压强探测系统，其特征在于，所述气体压强探测系统包括：光源、共振波长检测装置和权利要求1-7任意一项所述的气体压强探测器，所述光源、所述气体压强探测器和所述共振波长检测装置依次连接，所述光源用于发射光线到所述气体压强探测器上，所述共振波长检测装置用于检测所述气体压强探测器中的共振波长。