[发明专利]一种分拣倒装芯片的封盖平衡性填充封装结构及工艺在审

专利信息
申请号: 201911048861.6 申请日: 2019-10-31
公开(公告)号: CN110767617A 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 阳芳芳;陆海琴;马军;张光明 申请(专利权)人: 太极半导体(苏州)有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/367;H01L21/56;H01L21/48
代理公司: 32246 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 于浩江
地址: 215000 江苏省苏州市工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 倒装芯片 金属盖 硅垫片 基板 导热 散热系数 界面胶 散热 分拣 封盖 导热粘接层 产品封装 封装结构 封装类型 上下两侧 位置偏移 左右两侧 左右平衡 平衡性 填充胶 粘连 薄型 量产 填充 粘贴 焊接 个性化 保证 传递 客户
【权利要求书】:

1.一种分拣倒装芯片的封盖平衡性填充封装结构,其特征在于:包含基板(11)、倒装芯片(12)、硅垫片(4)和金属盖(7),金属盖(7)的边框通过焊接剂(6)焊接在基板(11)上,倒装芯片(12)位于金属盖(7)内;所述倒装芯片(12)的正面具有多个凸块,倒装芯片(12)与基板(11)之间设置填充胶(2),倒装芯片(12)背面的左右两侧上均设置有硅垫片(4);所述硅垫片(4)通过其下侧的下导热粘接层(3)粘贴在倒装芯片(12)的背面,硅垫片(4)的上侧通过上导热粘接层(5)与金属盖(7)粘连。

2.根据权利要求1所述的分拣倒装芯片的封盖平衡性填充封装结构,其特征在于:所述填充胶(2)充满倒装芯片(12)与基板(11)之间的间隙,以及凸块与凸块之间的间隙。

3.根据权利要求1所述的分拣倒装芯片的封盖平衡性填充封装结构,其特征在于:所述下导热粘接层(3)和上导热粘接层(5)均由界面散热胶点涂形成。

4.根据权利要求1所述的分拣倒装芯片的封盖平衡性填充封装结构,其特征在于:所述基板(11)的底部焊有锡球(9)。

5.一种分拣倒装芯片的封盖平衡性填充封装工艺,其特征在于,包含以下步骤:

第一步:芯片倒装焊接;

将倒装芯片(12)倒装在基板(11)上,实现信号的100%对应连接;

第二步:芯片底部填充;

通过虹吸现象使填充胶(2)布满倒装芯片(12)与基板(11)的全部间隙,并固化以增强芯片凸块与基板焊盘的连接牢固度;

第三步:第一次点涂界面散热胶;

将界面散热胶均匀点涂在倒装芯片(12)背面的两个短边,保证相近的点胶宽度和相同的点胶量,之后送进烘箱(32)固化,形成两侧的下导热粘接层(3);

第四步:贴硅垫片并烘烤;

将硅垫片(4)通过下导热粘接层(3)粘贴在倒装芯片(12)背面的两个短边上,保证两侧具有相同的压合高度;

第五步:第二次点涂界面散热胶;

将界面散热胶分别点涂在左右两边的硅垫片(4)上,保证相近的点胶宽度和相同的点胶量,形成上导热粘接层(5);

第六步:点涂焊接剂;

将焊接剂(6)点涂在基板(11)的环形贴盖区;

第七步:粘贴金属盖;

将金属盖(7)对准基板(11)的环形贴盖区,并控制位移和压合高度;

第八步:全固化;

将完成金属盖压合的半成品放入烘箱(81)中,并填充压块(82),之后烘烤使整体全固化;

第九步:植球;

将锡球(9)焊接在基板(11)的球垫上,完成芯片信号单元通过基板到锡球的有效连通;

第十步:切单;

使用切刀将整板产品切割成单颗单元。

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