[发明专利]一种精密线路的外部蚀刻补偿方法在审
| 申请号： | 201911044621.9 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110753452A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 方磊;王健;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏上达电子有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 32220 徐州市三联专利事务所 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 补偿图形 外部 补偿规则 尺寸差异 工作难度 规则图形 空白区域 设计规则 蚀刻补偿 线路图形 密集度 药水 侧蚀 精密 交换 | ||
【权利要求书】：
1.一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。
2.根据权利要求1所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，当存在交错排布的长短线路时，先对线路整体进行常规补偿(2)，然后在各线路的前端及长线路的侧面一定距离的位置，进行外部补偿一(5)，蚀刻后得到均匀的线路。
3.根据权利要求2所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，所述线路整体包括长线路和短线路。
4.根据权利要求1所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，当存在整齐的线路时，在各线路的前端一定距离的位置，进行外部补偿二(6)，蚀刻后得到均匀的线路。
5.根据权利要求2-4任一项所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，所述的一定距离是指常规补偿后的一个线距的长度。
6.根据权利要求2-4任一项所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，所述的进行外部补偿是设计线形外部补偿图形。
7.根据权利要求6所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，所述的线形外部补偿图形为1-15μm宽。
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