[发明专利]基于Kapton 500HN的EMSIW湿度传感器

权利要求书

1.基于Kapton 500HN的EMSIW湿度传感器，该湿度传感器为单端口器件，分为三层结构，其特征在于：

顶层包括金属补丁、微带线和SMA连接头；

中间层采用湿度敏感介质板Kapton500HN；

底层包括金属薄片；

金属补丁上设有若干等距排布用于耦合金属薄片的金属通孔；由金属补丁、微带线、介质板Kapton500HN、金属薄片、金属通孔构成八分之一模式的衬底集成波导EMSIW；

在金属补丁的电壁上连接有微带线，金属补丁在微带线两侧开有轴对称的L型缝隙；左侧L型缝隙为顺时针旋转180°后的L结构，右侧L型缝隙与左侧L型缝隙关于微带线轴对称；

所述微带线结构包括一个输入端口，所述的输入端口用于连接SMA连接头。

2.如权利要求1所述的基于Kapton 500HN的EMSIW湿度传感器，其特征在于湿度敏感介质板厚度是。

3.如权利要求2所述的基于Kapton 500HN的EMSIW湿度传感器，其特性在于：在室温23℃、湿度为0%时，湿度敏感介质板Kapton 500HN此时的介电常数为3.05，而当室温23℃、湿度为100%时，湿度敏感介质板Kapton 500HN此时的介电常数为3.85，其介电常数和环境湿度的关系式表示为：介电常数，RH表示周围环境的湿度。