[发明专利]一种旋转靶材绑定用抽真空装置及采用该装置的旋转靶材绑定方法

说明书

本发明涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置及采用该装置的旋转靶材绑定方法，绑定时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。本发明在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空，能够防止加热过程中旋转靶材被氧化，解决了现有绑定技术中靶管金属化层与背管金属化层在升温过程中被氧化的问题。

技术领域

本发明涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置及采用该装置的旋转靶材绑定方法。

背景技术

目前我国的平板显示制造企业发展迅速，国家大力支持先进产品实现国产化。目前镀膜用靶材有两种：平面靶材和旋转靶材。平面靶材溅射使用可达到30%左右，而旋转靶材溅射使用率可达到80%左右，其次旋转靶材在使用过程中不停地旋转，靶材表面光滑，使用均匀，不会出现“结瘤现象”，可以保证靶材使用质量，镀膜的均匀性，减少缺陷率以及提高成品率。旋转靶材是目前乃至以后发展的一大趋势。

旋转靶材生产过程主要有两大工序：其一：旋转靶材靶管的生产；其二：靶管与背管的绑定。

目前旋转靶材的绑定工艺是按单节绑定方式进行的，现有的绑定工艺较为复杂，人工操作过程较多，对员工操作熟练程度较高。多节旋转靶材同时绑定方式存在的主要困难是，组件在加热过程中靶管与背管极易被氧化。且在注铟后，绑定层中会出现微气孔、疏松等缺陷，直接影响靶管与背管的焊合质量，从而导致靶管、背管与绑定层结合强度不足。长期使用后，金属绑定层易与靶管和背管脱落，若此脱落面积达到某个程度，则溅射时热量从靶管传递到背管会急剧减少，导致靶管局部温度过热，从而引起不均匀热效应，导致在溅射使用中出现靶材体破裂，从而中断镀膜沉淀工艺。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种旋转靶材绑定用抽真空装置及采用该装置的旋转靶材绑定方法，在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空，能够防止加热过程中旋转靶材被氧化，解决了现有绑定技术中靶管金属化层与背管金属化层在升温过程中被氧化的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种旋转靶材绑定用抽真空装置，包括模具底座、密封盖、压杆、密封环和抽真空泵，所述密封圈包括密封环Ⅰ、密封环Ⅱ、密封环Ⅲ和密封环Ⅳ，所述模具底座为其上开有用于放置背管的圆形凹槽的平板结构，模具底座上开有与圆形凹槽连通的注铟通孔，所述密封盖是由圆形端盖和设置在圆形端盖边缘的凸缘构成，密封盖的凸缘设置有抽真空口，抽真空泵通过管道与抽真空口连通；

使用状态时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。

所述圆形凹槽的直径比背管的直径大2-5mm。

所述抽真空口上设置有耐高温玻璃观察窗。

本发明的另一技术方案是：一种旋转靶材绑定方法，采用的装置是上述的旋转靶材绑定用抽真空装置，

该绑定方法包括以下步骤：

（一）将旋转靶材和背管进行粗化处理；

（二）将旋转靶材与背管分别进行金属化处理，冷却至常温；

（三）在常温状态下，按照旋转靶材绑定抽真空装置的使用状态，将旋转靶材与背管组装好，并在旋转靶材外侧套装外加热装置；