[发明专利]一种太阳能选择性吸热涂层

权利要求书

1.一种太阳能选择性吸热涂层，从底层到顶层依次设置有基层、红外反射层、吸收层、和减反层，其特征在于：所述红外反射层和吸收层之间设置有强化层，所述强化层包括第一强化亚层和第二强化亚层，所述第一强化亚层和第二强化亚层依次沉积在红外反射层上；所述第一强化亚层为Si₃N₄与yAlN·(1-y)Al₂O₃的混合物，所述第二强化亚层为yTi₃N₄·(1-y)TiO₂；所述第一强化亚层与红外反射层吸合，所述第二强化亚层与吸收层吸合；所述的第二强化亚层和第一强化亚层的厚度之比为(20～40)∶(60～80)；所述的吸收层为Ti_x2Al_y2Si_(1-x2-y2)N_m2O_n2和Ti_x3Cr_(1-x3)N_m3O_n3中的一种或两种；其中，0＜y＜1，0＜x2＜1，0＜y2＜1，0＜m2≤1.5，0＜n2≤2，0＜x3＜1，0＜m3≤1.5，0＜n3≤2。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能选择性吸热涂层，其特征在于：所述的吸收层包括自下而上依次设置的第一吸收亚层、第二吸收亚层和第三吸收亚层，所述第一吸收亚层为CrN_m4，第二吸收亚层为CrO_n4，第三吸收亚层为CrN_m5O_n5，其中，0＜m4≤1.5，0＜n4≤2，0＜m5≤1.5，0＜n5≤2。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能选择性吸热涂层，其特征在于：所述第一吸收亚层、第二吸收亚层、第三吸收亚层的厚度之比为(10～30)∶(30～60)∶(40～60)。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能选择性吸热涂层，其特征在于：所述的减反层为SiO₂、Al₂O₃、Si₃N₄中的一种或多种。

5.根据权利要求4所述的一种太阳能选择性吸热涂层，其特征在于：所述基层为Al或Cu；所述的红外反射层为Al、Ag、Cu、Cr、Ni、Sn中的一种。

6.根据权利要求5所述的一种太阳能选择性吸热涂层，其特征在于：所述的红外反射层的厚度为80～160nm，强化层厚度为120～180nm，吸收层的厚度为150～260nm，所述的减反层的厚度为200～500nm。

7.一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于：用于制备权利要求1～6中任一项所述的太阳能选择性吸热涂层，包括以下步骤，

步骤一、在所述基层上电镀所述红外反射层；

步骤二、通入氩气和氮气的混合气体，采用磁控溅射法，在步骤一中得到的红外反射层上依次沉积所述的第一强化亚层和第二强化亚层；

步骤三、通入氩气和氮气的混合气体，采用磁控溅射法，在步骤二中所得到的第二强化亚层上沉积所述的吸收层；

步骤四、通入氩气和氮气的混合气体，采用磁控溅射法，在步骤三中得到的吸收层上沉积所述的减反层。

8.根据权利要求7所述的一种制备方法，其特征在于：所述步骤二、步骤三和步骤四中，氩气和氮气的流量比为9∶1。