[发明专利]一种基于高灵敏度相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：激光器、起偏器、棱镜相位调制模块、SPR传感模块（由传感棱镜和SPR传感芯片构成）、SPR传感气室、气压平衡装置（或者抽气装置）、待检测气体容器、检偏器、光强探测器，激光光源发出的光经过起偏器，变成线偏光，经过棱镜相位调制模块，被调制为具有不同相位的椭偏光，再经过SPR传感气室内的SPR传感模块（由传感棱镜和SPR传感芯片构成），最后经过检偏器和光强探测器读取不同相位椭偏光的光强值，从而计算得到SPR传感的携带气体折射率信息的相位响应值，最终通过相位响应值的变化来表征气体容器的泄漏状态。

2.根据权利要求1所述的一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：通过棱镜相位调制模块来提取SPR传感的相位值。

3.根据权利要求1所述的一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：棱镜相位调制模块由多个不同入射倾角的斜方棱镜及可移动的步进平台构成。

4.根据权利要求1所述的一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：基于棱镜相位调制模块，通过光强探测器测量不同相位调制下的光强来拟合计算得到SPR相位值。

5.根据权利要求1所述的一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：SPR传感模块（由传感棱镜和SPR传感芯片构成）位于SPR传感气室内，且根据待测气体的密度属性及特定应用场景，可以有不同的方位配置，可自由调节。

6.根据权利要求1所述的一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：SPR传感气室通过气压平衡装置来保证与外界气压平衡。

7.根据权利要求1所述的一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：SPR传感气室在检测气体容器泄漏之前，可通过抽气装置抽气到低气压状态，在低气压状态下进行检测。

8.根据权利要求1所述的一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，其特征在于：SPR传感气室抽气到低气压状态，低气压为一个相对概念，只需要和待检测气体容器内部气压存在压力差即可。