[发明专利]一种新型SnO2微米线及其制备的柔性电子器件和应用有效
申请号: | 201911031713.3 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN110846637B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 李京波;霍能杰;徐志军;赵艳;魏钟鸣;陈洪宇 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;B82Y40/00;G01J4/00;G01L1/16;G01L9/08 |
代理公司: | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人: | 杨晓松 |
地址: | 510630 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 sno2 微米 及其 制备 柔性 电子器件 应用 | ||
1.柔性电子器件在紫外偏振光检测或压力传感器领域中的应用,其特征在于,所述柔性电子器件是将单根SnO2微米线转移至柔性衬底上,用导电浆料固定在SnO2微米线的两端作为电极,设置两端电极间的距离为20~100μm,电极方向与沿SnO2微米线的长轴方向平行,空气中在80~120℃退火制得;所述SnO2微米线是采用CVD法将SnO2粉末和石墨粉研磨混合,在保护气氛下,升温至1000~1200℃加热,并控制气体流量,冷却至室温制得;所述SnO2粉末和石墨粉的质量比为(1~10):(1~10);所述SnO2微米线的长度为10μm~10mm;采用紫外光源波长为360nm对所述柔性电子器件进行偏振光电流测试,所述SnO2微米线的光电流各向异性比值为2.3,灵敏度为4000。
2.根据权利要求1所述的柔性电子器件在紫外偏振光检测或压力传感器领域中的应用,其特征在于,所述导电浆料为Ag浆、In浆、Au浆或Cu浆。
3.根据权利要求1所述的柔性电子器件在紫外偏振光检测或压力传感器领域中的应用,其特征在于,所述退火的时间为10~60min。
4.根据权利要求1所述的柔性电子器件在紫外偏振光检测或压力传感器领域中的应用,其特征在于,所述柔性衬底为PI或PET。
5.根据权利要求1所述的柔性电子器件在紫外偏振光检测或压力传感器领域中的应用,其特征在于,所述加热的时间为30~90min;所述升温的速率为10~30℃/min;所述气体流量为90~150sccm。
6.根据权利要求1所述的柔性电子器件在紫外偏振光检测或压力传感器领域中的应用,其特征在于,所述保护气氛为氩气或氮气。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的