[发明专利]一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟

说明书

本发明公开了一种用于石墨舟的新型电极结构，包括石墨杆和若干石墨连接块，所述电极结构通过石墨杆可拆卸地插接多个石墨连接块构成，所述石墨杆为圆柱体，所述石墨连接块为长方体，且石墨连接块中贯通开设有空心槽。本发明空心槽设计合理，空心结构的石墨连接块，在相同升温时间下提升了电极结构附近温区的温度，从而提升了相邻工位的电池片膜厚，缩小了电池片舟内膜厚均匀性的差异；并且保证了炉口通入的反应气体能直接通过电极结构进入石墨舟内，使得硅片镀膜时整体沉积速率较一致，从而改善舟内整体膜厚均匀性。

技术领域

本发明涉及光伏太阳能电池生产设备技术领域，具体为一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟。

背景技术

光伏组件是由若干太阳能电池片串、并联连接后形成的组件，是太阳能发电领域的重要组成部分。而太阳能电池片在生产过程中，需要对硅片镀一层减反射氮化硅薄膜，因此对氮化硅薄膜的均匀性要求很高，而炉管各温区温度、镀膜功率、镀膜压力等都会影响镀膜均匀性，随着电池片生产工艺的优化，镀膜工艺方案较之前有很大的优化，但减反射膜的均匀性控制仍然是一项需优化的问题。

现有的石墨舟电极结构，其包括石墨连接块、石墨杆、陶瓷杆、螺母，但是其普遍存在以下较为明显的工艺缺陷：

目前产线上使用的石墨连接块为实心结构，在相同升温时间下使得电极结构附近温区温度偏低，相邻工位电池片容易受此影响使得膜厚偏低，影响整体膜厚均匀性；

而且，装有电池片的石墨舟在炉管内镀膜时电极结构会阻碍反应气体流畅通过，出现进气不均的问题，也会影响整体膜厚均匀性。

因此，需要一种新型电极结构来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟，以解决上述背景技术中提出的问题，能够提升电极结构相邻工位膜厚均匀性，弥补相邻工位膜厚均匀性差的缺陷，使得硅片在镀膜时整体沉积速率较一致，从而改善舟内整体膜厚均匀性。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于石墨舟的新型电极结构，包括石墨杆和若干石墨连接块，所述电极结构通过石墨杆可拆卸地插接多个石墨连接块构成，所述石墨杆为圆柱体，所述石墨连接块为长方体，且石墨连接块中贯通开设有空心槽。

优选的，所述石墨连接块上开设有两个与石墨杆配合插接的插接孔，两个所述插接孔在轴径方向上为平行设置，所述插接孔与空心槽在轴径方向上为垂直设置。

优选的，还包括开槽连接块，所述开槽连接块中开设有插接孔，且开槽连接块中开设有条形槽。

优选的，还包括石墨舟脚，所述石墨舟脚中开设有插接孔。

优选的，所述石墨连接块的横向宽度为24-26mm，所述石墨连接块的纵向宽度为41-43mm，所述石墨连接块的高度为34-36mm。

优选的，所述插接孔为圆柱体，所述插接孔的直径为8.2-8.4mm。

优选的，所述空心槽为长方体，所述插接孔与空心槽的垂直间距为5-7mm。

优选的，所述空心槽距石墨连接块边缘的垂直距离为3-5mm。

优选的，所述空心槽的横截面宽度大于插接孔的直径。

一种石墨舟，包括石墨舟页，还包括所述的电极结构，所述石墨舟页通过石墨杆连接石墨舟连接块。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：