[发明专利]一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置

说明书

本发明公开了一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室，在真空镀膜室内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环，加热辊包括空心辊筒、端板、支撑轴，支撑轴为空心轴，空心辊筒、端板、支撑轴全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封；电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒、绕设在线圈支撑筒上的感应线圈，线圈支撑筒两端连接有安装轴，安装轴通过滚动轴承安装在支撑轴内；屏蔽冷却环安装在空心辊筒两侧的支撑轴上，包括屏蔽板和冷却环。本发明的高温加热辊装置能够长期在真空环境下使用，可满足基材高温镀膜的要求，实现基材在高温工艺环境下的镀膜生产，提高基材镀膜品质及生产效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置。

背景技术

在薄膜、金属薄板等基材的表面镀膜生产中，需要对基材进行加热，以实现基材在高温工艺环境下的镀膜生产。现有的真空镀膜机只能使用冷却辊，它只能给基材降温，或通过加热的流体给辊面加低温，不能满足基材高温的工艺要求。现有市场上的各种形式的加热辊都只能在大气环境下使用。

发明内容

鉴于现有技术的不足，本发明提供一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，将电磁加热应用在真空镀膜领域，实现真空镀膜机基材的快速加热，提高基材镀膜品质及生产效率。

本发明采用的技术方案如下：一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室，在真空镀膜室内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环，所述加热辊包括空心辊筒、空心辊筒两侧的端板、与端板连接的支撑轴，一端支撑轴安装在真空镀膜室内的支撑轴座上，另一端支撑轴通过磁流体密封装置安装在真空镀膜室壁上并延伸至真空镀膜室外，支撑轴为空心轴，所述空心辊筒、端板、支撑轴全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封；

所述电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒、绕设在线圈支撑筒上的感应线圈，线圈支撑筒两端连接有安装轴，安装轴通过滚动轴承安装在支撑轴内；

所述屏蔽冷却环安装在空心辊筒两侧的支撑轴上，包括屏蔽板和冷却环，冷却环安装在支撑轴上，冷却环内部通有冷却水，屏蔽板安装在靠近空心辊筒一侧的冷却环上。

进一步地，所述屏蔽板由多层镜面薄板组合而成。

进一步地，所述屏蔽板直径略大于空心辊筒的直径。

进一步地，所述支撑轴座通过安装法兰固定在真空镀膜室壁上，安装法兰与真空镀膜室壁密封连接。

本发明的有益效果在于：

（1）本发明的用于真空镀膜机的高温加热辊装置，通过电磁加热的原理可以把卷绕在加热辊外壁的基材的温度加热到500℃以上，可满足基材高温镀膜的要求，实现基材在高温工艺环境下的镀膜生产，提高基材镀膜品质及生产效率；

（2）能够长期在真空环境下使用，屏蔽冷却环可以把轴端的温度降至磁流体密封轴和支撑端轴承的许用温度，整体装置不会因为辊面的高温影响两轴端部转动轴承的使用，也不会影响磁流体及密封圈的密封性能。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1所示，本发明的一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室1，在真空镀膜室1内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环。