[发明专利]一种铌酸锂脊型光波导的制备方法有效
| 申请号： | 201911014320.1 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110764188B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 黄颖;华平壤 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/134 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂脊型光 波导 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铌酸锂脊型光波导的制备方法，其特征在于，该方法具体制作过程包括以下步骤：
选择光学级Z切0.35mm厚的同成份铌酸锂晶片作为基底，在240℃下进行轻质子交换接近20小时，制成平面波导，质子源采用苯甲酸和苯甲酸锂的混合物；在+Z面平面波导上采用紫外光刻制作出条宽近2-4μm、厚度为近100-200nm的SiO2掩模；将做好掩模的晶片在240℃下再进行质子交换近1小时，所得到的交换层厚度近0.7μm，质子源为纯苯甲酸；室温下进行湿法刻蚀近4小时，将质子交换层全部刻蚀掉，得到刻蚀后的脊高近0.7μm，刻蚀液采用体积比HF:HNO3＝1:3的HF-HNO3混合液。
2.如权利要求1所述的一种低损耗铌酸锂薄膜光波导的制备方法，其特征在于，所述苯甲酸和苯甲酸锂的混合物中，苯甲酸锂优选的占比为3mol％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911014320.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可调控光谱的波导耦合谐振器件
- 下一篇：一种自动光纤剥皮机
